[实用新型]可调紧滚轮装置无效
申请号: | 201020210651.0 | 申请日: | 2010-05-25 |
公开(公告)号: | CN201699059U | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | 杨明生;刘惠森;范继良;王银果;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/677 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可调 滚轮 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种传输基片的滚轮装置,尤其涉及一种用于有机发光二极管生产线上基片清洗工艺中,对基片要求平稳传输的滚轮装置。
背景技术
OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品,OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),因为具备轻薄、省电等特性,因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用,并且具有较大的市场潜力。OLED显示器材是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在玻璃基板等薄板上制作一层几十纳米厚的有机发光材料作为发光层,发光层上方有一层低功函数的金属电极,当电极上加有电压时,发光层就产生光辐射;OLED的发光机理是从阴极(金属电极)和阳极(玻璃基板)分别注入电子和空穴,被注入的电子和空穴在有机层内传输,并在发光层内复合,从而激发发光层分子产生单态激子,单态激子辐射衰减而发光。而OLED显示器材的制备主要包括以下工艺:基板清洗、光刻、基片处理(包括基片再清洗和前处理)、成膜、封装、老化测试和IC连接,其中,玻璃基板作为阳极,其表面状态直接影响空穴的注入和有机薄膜层间的界面电子状态及有机材料的成膜性,玻璃基板表面如果不清洁,其表面自由能变小,从而导致蒸镀在上面的空穴传输材料发生凝聚、成膜不均匀,因此,对于OLED制作过程中的基片清洗工艺就显得尤为重要,也不可避免的出现了关于基片的传输问题。
目前,常用的基片传输装置包括滚轮、与滚轮固定连接的滚轮轴以及固定滚轮与滚轮轴的螺钉,所述螺钉沿着滚轮的径向方向穿过滚轮,并与滚轮轴抵触,从而将滚轮与滚轮轴固定在一起,传输基片时,所述滚轮轴带动所述滚轮旋转,所述基片与所述滚轮直接接触并在滚轮的转动下传输。然而,在传输基片时,尤其是在基片清洗工艺中传输基片时,现有的基片传输装置还存在以下问题:一方面,由于在基片清洗工艺中,对基片传输的平稳度要求较高,但是现有的基片传输装置,滚轮与滚轮轴之间仅仅通过螺钉进行固定,在滚轮轴带动滚轮转动时,滚轮的轴线相对于滚轮轴的轴线会发生偏移,从而影响滚轮轴与滚轮的同轴度,导致滚轮与滚轮轴相对运动,这时当基片在多个滚轮上传输时,基片的下表面与基片下方的滚轮不能完全接触,使得基片产生震动,又由于基片常采用玻璃基板等薄板制成,致使基片在传输过程中因为震动而磨损甚至破碎;另一方面,随着所述滚轮传输装置长时间传输基片,滚轮与滚轮轴之间因为磨损产生松动,致使滚轮的轴线相对于滚轮轴的轴线会发生偏移而造成的基片磨损、破碎,甚至使得所述滚轮轴不能有效的带动滚轮转动,影响基片传输的安全性和效率;再一方面,在基片清洗过程中,清洗液会对滚轮传输装置的零件产生腐蚀,不但影响了该滚轮传输装置使用的寿命,而且影响基片传输的稳定性。
因此,急需一种可用于基片清洗工艺中的、基片传输稳定、滚轮与滚轮轴之间可调紧的滚轮装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可用于基片清洗工艺中的、基片传输稳定、滚轮与滚轮轴之间可调紧的可调紧滚轮装置。
为了实现上有目的,本实用新型公开了一种可调紧滚轮装置,用于有机发光二极管生产线上的基片清洗工艺,该可调紧滚轮装置包括滚轮轴、工程塑料制成的滚轮、工程塑料制成的夹紧套以及工程塑料制成的顶紧螺帽:所述滚轮的中心贯穿开有与所述滚轮轴相配合的内孔,所述滚轮的右端中心向外凸出形成连接部,所述连接部外表面具有外螺纹,所述连接部的中心贯穿开设有正对所述内孔的锥形孔,所述锥形孔与所述内孔相互连通,所述锥形孔的左端孔径小于右端孔径;所述夹紧套的中心贯穿开有与所述滚轮轴相配合的轴孔,所述夹紧套的外表面呈锥形,所述夹紧套的锥度与所述连接部的锥形孔锥度相同,所述夹紧套设于所述锥形孔内且所述夹紧套的左端直径大于所述锥形孔的左端孔径(孔的直径),所述夹紧套的右端直径大于所述锥形孔的右端孔径,所述夹紧套上设有纵向开口;所述顶紧螺帽包括螺母本体,所述螺母本体上贯穿开有与所述连接部的外螺纹相啮合的螺孔,所述螺母本体的右端沿径向收缩形成顶紧挡板,所述顶紧挡板中间开设有与所述滚轮轴相配合的通孔,所述通孔正对所述螺孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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