[实用新型]真空管道清洁装置及系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术，尤其涉及一种真空管道清洁装置及系统。

背景技术

在半导体及平板显示产业中，高真空的工艺技术应用广泛，特别是在等离子体增强化学气相沉积及干法刻蚀等工艺中，反应腔室通过真空管道连接到泵上，以保持设备较高的真空度。这样，在反应过程中会有大量副产物产生在管道内，遇冷后以粉末的形式附着在真空管道内壁上，设备在运行时间较长后真空管道壁上会粘结有大量的附着物，从而导致真空管道内气体流量低下，易造成反应腔室真空度下降、设备停机等问题。

现有技术中通常采用物理清洗法或化学清洗法对真空管道进行湿法清洗。其中物理清洗法主要是向真空管道内压入树脂子弹，然后冲压入大量水以进行清洗，该方法对真空管道及树脂子弹强度、材料等都有较高的要求，如真空管道的耐受压力要较高，真空管道内弯曲连接处不能太多等。化学清洗法主要是向真空管道内注入化学药剂，以对真空管道内附着物进行中和反应，该方法需要大量的化学药剂和水，并且也会对环境造成一定的破坏。

另外，采用上述物理清洗法或化学清洗法对真空管道进行清洗后，真空管道内都会附着有大量的水分，后续需要对真空管道进行干燥的过程，使短期内设备不能恢复工作。

实用新型内容

本实用新型提供一种真空管道清洁装置及系统，用以清洁弯曲连接处较多的真空管道，且不需要对真空管道进行干燥的过程，清洁完即可投入使用。

本实用新型提供一种真空管道清洁装置，包括：至少二个清洁杆、至少一个毛刷头以及牵引装置；

所述清洁杆之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组；

所述毛刷头设置在至少一个清洁杆上；

所述牵引装置设置在所述清洁杆组的两端。

进一步的，所述清洁杆的一端为凹面结构，所述清洁杆的另一端为凸面结构，所述清洁杆之间的凹面结构与凸面结构构成配合结构；所述清洁杆之间通过钢丝绳连接。

优选地，所述毛刷头设置在所述清洁杆上。

所述毛刷头包括刷毛、刷毛底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。

该真空管道清洁装置的清洁杆组首端和/或尾端的清洁杆与所述牵引装置之间还可设置有活塞头。

所述毛刷头可为一个。

优选地，间隔一个或多个清洁杆设置所述毛刷头。

本实用新型提供一种真空管道清洁系统，包括上述提供的一种真空管道清洁装置，还包括：尾部接收设备和真空吸收设备；

所述牵引装置的一端与所述尾部接收设备连接，所述真空吸收设备与所述尾部接收设备连接，所述尾部接收设备用于接收真空管道清洁装置清理出的粉末，所述真空吸收设备用于吸收尾部接收设备中的粉末。

采用本实用新型提供的真空管道清洁装置及系统清洁真空管道，不需要对真空管道进行后续干燥的过程，清洁完即可投入使用；真空管道清洁装置的各清洁杆之间都是以配合结构活动连接，使得真空管道清洁装置可在各方向旋转活动，适用于清洁弯曲连接处较多的真空管道。

附图说明

图1为本实用新型真空管道清洁装置实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型真空管道清洁装置实施例二的结构示意图；

图3为本实用新型真空管道清洁装置实施例三的结构示意图。

具体实施方式

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

图1为本实用新型真空管道清洁装置实施例一的结构示意图。如图1所示，本实施例包括：至少二个清洁杆11、至少一个毛刷头12以及牵引装置13。

其中，清洁杆11之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组10；毛刷头12设置在至少一个清洁杆上；牵引装置13设置在清洁杆组10的两端。

进一步的，清洁杆11的一端为凹面结构，清洁杆11的另一端为凸面结构，清洁杆11之间的凹面结构与凸面结构构成配合结构；清洁杆11之间通过钢丝绳14连接。通过这种配合结构的活动连接，可以使真空管道清洁装置在各方向旋转活动。

本实施例中，毛刷头12固接在清洁杆上。在图1中，间隔一个清洁杆设置毛刷头。本实用新型也可以间隔多个清洁杆设置毛刷头。

具体地，毛刷头12可以包括刷毛、刷毛底座及螺丝。其中，刷毛可采用硬质且具有一定韧性的较长的塑料细丝制成，刷毛固定在刷毛底座上，例如以植入压塑的方式使刷毛与刷毛底座紧固，刷毛不易脱落；采用螺丝将刷毛底座固定在清洁杆上，每个毛刷头固定位置可以环绕固定数个刷毛底座，有利于对状态不好的刷毛进行调整更换。

本实施例中，牵引装置13包括两条牵引绳，这两条牵引绳分别连接在清洁杆组的两端。