[实用新型]单晶炉用坩埚轴有效
申请号: | 201020213850.7 | 申请日: | 2010-06-03 |
公开(公告)号: | CN201670891U | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
发明(设计)人: | 周凯忠 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;F27B14/10 |
代理公司: | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人: | 伍贤喆;夏永兴 |
地址: | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉用 坩埚 | ||
1.一种单晶炉用坩埚轴,包括坩埚轴本体(1)和内管(2),坩埚轴本体(1)套装在内管(2)外,坩埚轴本体(1)和内管(2)之间有间隙,其特征是:还包括芯轴(3)和滑动轴承(5),所述坩埚轴本体(1)包括轴头(11)、主轴(12)和旋转接头(13),轴头(11)设置在主轴(12)上端,旋转接头(13)设置在主轴(12)下端,所述主轴(12)和旋转接头(13)的轴心上开有相连通的通孔,所述坩埚轴本体(1)内开有空腔,芯轴(3)设置在空腔中通过滑动轴承(5)安装在内管(2)上端,芯轴(3)轴心开有和内管(2)连通的通孔,所述芯轴(3)通过固定销(4)固定在坩埚轴本体(1)上,芯轴(3)和坩埚轴本体(1)之间有间隙。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用坩埚轴,其特征是:所述坩埚轴本体(1)上端开有限位槽,所述限位槽为圆台形,圆台与坩埚轴本体(1)同轴设置。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用坩埚轴,其特征是:所述限位槽内底面中心位置开有螺纹孔。
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