[实用新型]行星工件架有效
| 申请号： | 201020214193.8 | 申请日： | 2010-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN201729872U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 安其;张永和;董玢越 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 行星 工件 | ||
【权利要求书】：
1.一种行星工件架，包括电机、动密封装置(3)、中心齿轮(4)、行星架(6)、工件盘(7)、行星齿轮(8)和行星齿轮部件(9)，其特征在于：
所述电机包括第一电机(1)和第二电机(2)；
所述第一电机(1)与所述行星架(6)连接，用于驱动所述行星架(6)，使所述行星架(6)与所述第一电机(1)同轴转动；
所述行星架(6)通过所述行星齿轮部件(9)与所述行星齿轮(8)连接，通过所述行星架(6)的转动带动所述行星齿轮(8)转动；
所述第二电机(2)连接有定齿轮(5)，由所述第二电机(2)驱动所述定齿轮(5)，使定齿轮(5)与第二电机(2)同轴转动；
所述定齿轮(5)与所述中心齿轮(4)啮合，由所述定齿轮(5)的转动带动所述中心齿轮(4)转动；
所述行星齿轮(8)与所述中心齿轮(4)啮合。
2.根据权利要求1所述的行星工件架，其特征在于，所述第一电机(1)连接有齿轮减速器，所述齿轮减速器对所述第一电机(1)进行变频调速控制。
3.根据权利要求1所述的行星工件架，其特征在于，所述第二电机(2)连接有齿轮减速器，所述齿轮减速器对所述第二电机(2)进行变频调速控制。
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