[实用新型]一种磁力传动观察窗挡板机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种挡板机构，特别是涉及一种磁力传动观察窗挡板机构。

背景技术

在物理气相沉积(Physical Vapour Deposition，PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)设备中，观察窗是必不可少的组成部分。由于观察窗暴露于沉积环境中，观察窗玻璃也会被镀膜，从而影响其透光性，因此通常需要在观察窗上配置挡板机构，以对观察窗进行保护，需要使用观察窗时打开挡板，不使用时将挡板关上。挡板机构应操作方便，在进行相关试验测量或观察时，挡板快速开闭很重要。

观察窗挡板机构包括挡板和一套动密封引入机构。传统的观察窗挡板机构如图1所示，图2是传统的观察窗挡板机构图1由左向右投射所得的视图，所述挡板机构是由手轮5通过挡板轴2带动观察窗挡板1旋转，由于挡板轴2一侧为真空，通常是在轴承4上使用一对碗型密封圈3来达到密封效果。这是一种极为常见的真空动密封引入机构，这种结构的缺点为：1、碗型密封圈的密封能力有限，不能用在真空度高于1×10^-5Pa的超高真空系统上；2、碗型密封圈的耐热性有限，即使是最高级的硅橡胶密封圈，其耐热能力也只有250℃，在烘烤温度动辄600℃以上的真空环境中存在一定的局限性；3、组装时需要轴承定位，对轴的制造精度要求高，装配要求也相对较高，同时轴承也存在耐热问题；4、碗型密封圈存在老化和磨损，寿命有限，长期使用时必须经常检查和更换，更换密封圈需专业人员操作，且更换后必须重新检漏才能使用，增加了操作的繁琐。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：使观察窗挡板机构能应用于超高真空系统；提高挡板机构的耐热能力；降低挡板机构对零部件的加工精度要求；延长挡板机构使用寿命；简化挡板机构的维修和更换。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种磁力传动观察窗挡板机构，所述挡板机构配置安装在观察窗上，通过打开或关上挡板机构，使观察窗暴露于真空沉积环境中或者与其隔离开，其特征在于，所述挡板机构包括：

挡板轴，其穿过观察窗上开设的孔安装在观察窗上，挡板轴上部在观察窗内，下部穿过孔并向外延伸出一段；

观察窗挡板，安装在所述挡板轴上部；

导向套，安装在所述挡板轴下部，所述导向套与孔贴合。

其中，所述挡板机构还包括：纯铁环，固定安装在所述挡板轴上，并装入所述导向套内。

其中，所述挡板机构还包括：磁铁，固定在所述手轮内部，其位置与所述纯铁环对应，用于吸附并带动纯铁环转动。

其中，所述挡板机构还包括：盖板，盖合在所述导向套下端，或者盖合并与所述导向套焊接固定。

其中，所述挡板机构还包括：手轮，安装在所述导向套外侧，用于手动操作挡板机构时使用。

其中，所述导向套采用不锈钢材料制作。

其中，所述纯铁环的截面形状设计为十字形，所述纯铁环用销固定在挡板轴上。

(三)有益效果

与现有的观察窗挡板机构相比，本实用新型具有如下优点：

1、不存在动密封点，整个转动部分全部焊接在真空侧，理论上说漏率为0，可以应用于超高真空系统；

2、耐热能力强，由于不使用碗型密封圈，全部为金属件，耐热能力大大提高；

3、不使用轴承定位，对零件的加工精度要求不高，装配也相对简单；

4、不存在密封圈磨损，使用寿命极长，即使磁铁退磁更换也仅仅需要拆除外部的手轮，无需检漏，简单方便；

5、机构紧凑，体积小，可以和观察窗做成一体化结构。

附图说明

图1是传统的观察窗挡板机构结构示意图；

图2是传统的观察窗挡板机构图1由左向右投射所得的视图；

图3是本实用新型磁力传动观察窗挡板机构结构示意图；

图4是本实用新型磁力传动观察窗挡板机构示意图图3由左向右投射所得的视图；

图5是本实用新型磁力传动观察窗挡板机构示意图图3的B-B剖视图。

其中，1：观察窗挡板；2：挡板轴；3：碗型密封圈；4：轴承；5：手轮；7：导向套；8：纯铁环；9：磁铁；10：盖板；11：孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。