[实用新型]一种自动接液器

说明书

技术领域

本实用新型涉及湿法清洗设备的结构改进，尤其涉及一种用于湿法清洗设备的自动接液器。

背景技术

在半导体工艺中，几乎每一道工序都要用到晶圆清洗的问题，晶圆清洗的好坏对器件性能有重要的影响，如果处理不当，会严重影响晶圆的性能，影响晶圆的稳定性和可靠性，甚至会导致晶圆报废。因此晶圆清洗对于半导体器件生产具有重要作用，湿法化学清洗是一种常见的晶圆清洗技术，该技术利用各种化学试剂和有机溶剂与吸附在被清洗物体表面上的杂质和油污发生化学反应或溶解作用，或伴以超声、加热、抽真空等物理措施，使杂质从被清除物体的表面脱附(解吸)，然后用大量高纯热、冷去离子水冲洗，从而获得晶圆结晶表面。所以在湿法化学清洗时，用到多种化学试剂，多种液体化学物质通过湿法清洗设备的不同喷嘴管喷出，喷到晶圆表面进行清理。图1为现有的一种湿法清洗设备的喷嘴管示意图。参考图1，当用到其中一种化学试剂时，打开该化学试剂对应的喷嘴管10，对晶圆进行化学处理，同时关闭其他喷嘴管。

然而当关闭喷嘴管时，仍有一些化学试剂残留物流到晶圆上。残留的化学试剂会污染晶圆，甚至影响晶圆的产量。所以很多湿法清洗设备厂商为解决这一问题，想出了很多解决办法，其中之一就是在喷嘴管上设置倒吸阀，就是在该喷嘴管关闭后启动倒吸阀，将喷嘴管内残留液体化学物质吸出。这种倒吸阀不能完全吸出残留液体化学物质，容易出现故障，且价格昂贵。

实用新型内容

为解决现有湿法清洗设备使用完后，喷嘴管内残留液体化学物质滴落在晶圆上污染晶圆的问题，本实用新型提供一种自动接液器，且该自动接液器符合结构简单、操作方便、不易损坏、成本低廉等要求。

为解决上述问题，本实用新型提供一种自动接液器，所述自动接液器包括接液杯、导液管、机械臂和控制装置；所述导液管与所述接液杯的底部密封连接，所述机械臂的一端设置有机械臂手，所述机械壁手支撑所述接液杯，所述机械臂的另一端与所述控制装置电性相连。较佳的，所述接液杯形状为上大下小的圆台状。

进一步的，所述自动接液器的材料为耐酸碱材料。

进一步的，所述接液杯和所述导液管的材料为塑料。

综上所述，所述自动接液器解决了残留化学物质对晶圆的污染问题，在实际使用中，有效提高了所述晶圆的产量且所述自动接液器的结构简单。

进一步的，所述自动接液器的取材方便、使用寿命长且成本较低。

附图说明

图1为现有的一种湿法清洗设备的喷嘴管示意图。

图2为本实用新型一个实施例中自动接液器的结构示意图。

图3为本实用新型实施例中所述自动接液器的使用示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的普通及说人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

图2为本实用新型一个实施例中自动接液器的结构示意图。图3为本实用新型实施例中所述自动接液器的使用示意图。参考图2所示，本实用新型提出一种自动接液器，在湿法清洗设备中，所述自动接液器用于接喷嘴管10滴落的残留化学液体，防止残留化学液体滴落在喷嘴管10下方的晶圆20上，所述自动接液器位于所述喷嘴管10和所述晶圆20之间，参考图2所示，所述自动接液器包括接液杯1、导液管2、机械臂3和控制装置4；在本实施例中所述接液杯1的形状为能承接液体的杯状即可，如圆柱、立方柱或上大下小的圆台状，其中较佳的是上大下小的圆台状；所述导液管2与所述接液杯1底部密封连接，所述导液管2另一端与废液收集处(图中未标示)相连，所述化学液体流入所述接液杯1后顺所述导液管2流到所述废液收集处；所述机械臂3一端设置有机械臂手3a，所述机械臂手3a环绕所述接液杯1，紧抓使所述接液杯1固定在所述机械臂手3a上，所述机械臂3另一端与所述控制装置4电性相连，在本实施例中，所述控制装置4与所述湿法清洗设备的控制装置相配合，所述机械臂3在所述控制装置4的控制下可水平移动。

进一步的，所述自动接液器的材料为耐酸碱材料。