[实用新型]吹扫装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种吹扫装置。

背景技术

在大规模集成电路制造工艺中，随着电路尺寸的不断缩小，对介质层质量的要求也越来越高，所述介质层厚度的均匀性不仅会影响到后续工艺的正常进行，也会影响到器件的电性能和机械性能，并进而影响到器件的成品率及产量。可以利用多种方式形成介质层，例如，可通过热氧化工艺或化学气相沉积的方式形成所述介质层，在所述热氧化工艺以及化学气相沉积工艺中均需要使用石英管。尽管石英材料具有优越的性能，例如其具有高温稳定性以及较佳的耐化学腐蚀性能，但是，由于热氧化工艺以及化学气相沉积工艺中均需使用腐蚀性较强的化学气体，因此石英管表面还是会发生一些化学反应，从而产生一些反应物污染所述石英管表面；并且，热氧化或化学气相沉积工艺会产生大量的副产物，这些副产物中的大部分会被抽气设备清除，但是仍有小部分的副产物会沉积在所述石英管表面。如果不及时清理石英管表面的污染物，这些污染物极易产生颗粒而污染晶圆，因此定期清洗石英管是十分重要的。石英管的清洗方法通常是将石英管拆卸后，将石英管浸泡在清洗槽内，并用氢氟酸泡洗，接着用去离子水泡洗，之后用去离子水冲洗，最后用氮气将石英管吹干。

业界常利用吹扫装置来吹干所述石英管，如图1所示，现有的吹扫装置100包括供给装置110、供给管路120以及喷吹管路，所述喷吹管路通过供给管路120与所述供给装置110连接，所述供给装置110用以向所述喷吹管路供给氮气，所述供给管路120上设置有阀门121，所述喷吹管路包括主体131以及与所述主体131连接的喷嘴132，所述喷嘴132上设置有一个吹扫孔。

但是，在实际生产中发现，由于石英管的长度通常在100cm以上，而所述喷吹管路上仅包括一个喷嘴132，即所述喷吹管路上仅设置有一个吹扫孔，使得现有的吹扫装置不能快速的吹干所述石英管，需要耗费较长的时间和大量的氮气，提高了生产成本，且不利于提高设备的产能。同样，在利用现有的吹扫装置吹扫其它待吹扫物品(例如其它石英配件)时，由于所述喷吹管路上仅设置有一个吹扫孔，也需要耗费较长的时间。

实用新型内容

本实用新型提供一种吹扫装置，以解决现有的吹扫装置不能快速有效地吹干待吹扫物品的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种吹扫装置，包括供给装置、供给管路以及喷吹管路，所述喷吹管路与所述供给管路连接，所述供给管路与所述供给装置连接，所述喷吹管路上设置有多个吹扫孔。

可选的，在所述吹扫装置中，所述喷吹管路包括主体以及与所述主体连接的多个喷嘴，每个所述喷嘴上设置有一个吹扫孔。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体为中空的直管。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体为中空的弯管。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体的一端与所述供给管路连接，所述主体的另一端密封，所述多个喷嘴沿所述主体的长度方向依次排列。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体的一端与所述供给管路连接，所述多个喷嘴中的一个喷嘴与所述主体的另一端连接，所述多个喷嘴中的其它喷嘴沿所述主体的长度方向依次排列。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体的长度为100～200cm。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体与所述供给管路通过螺纹连接。

可选的，在所述吹扫装置中，所述喷嘴的数量为3～9个。

可选的，在所述吹扫装置中，所述主体的材质为聚偏氟乙烯，所述喷嘴的材质为特氟龙。

可选的，在所述吹扫装置中，所述供给管路上设置有阀门。

与现有技术相比，本实用新型提供的喷吹管路上设置有多个吹扫孔，所述多个吹扫孔可同时向待吹扫物品喷吹气体或液体，可快速有效地吹扫待吹扫物品，节约了生产时间和生产成本，有利于提高设备的产能。

附图说明

图1为现有的吹扫装置的示意图；

图2为本实用新型第一实施例提供的吹扫装置的示意图；

图3为本实用新型第二实施例提供的吹扫装置的示意图；

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。