[实用新型]一种高灵敏度的电容传感器无效
| 申请号： | 201020216160.7 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201837400U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周汉秦;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所 31239 | 代理人： | 杨天娇 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 电容 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种高灵敏度的电容传感器，其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其特征在于：所述固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。
2.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指和可动叉指的结构完全相同。
3.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指或可动叉指上的各个凸起部的形状相同。
4.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述凸起部的横截面是方形。
5.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述凸起部的大小相同。
6.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述每两个凸起部的间隔宽度相同。
7.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指与可动叉指相互错位排列，即所述固定叉指的凸起部与可动叉指的凸起部部分重叠。
8.根据权利要求1所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述固定叉指包括第一固定叉指和第二固定叉指，所述第一固定叉指和第二固定叉指分别与可动叉指配合形成差分电容。
9.根据权利要求8所述的高灵敏度的电容传感器，其特征在于：所述第一固定叉指和第二固定叉指分别有两组。
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