[实用新型]用于质谱仪的真空腔系统有效
| 申请号： | 201020218077.3 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201829450U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 胡晓斌;任建凯 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹毅 |
| 地址： | 215200 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 质谱仪 空腔 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于：包括一真空腔(1)，所述真空腔(1)通过一连接腔(5)连接一分子泵(2)，所述分子泵(2)连接一不锈钢管(3)。
2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于：所述真空腔(1)还连接一真空规(4)。
3.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于：所述真空腔(1)两端设有端盖(7)，所述端盖(7)与真空腔(1)连接处加设有O型密封圈(6)。
4.根据上述权利要求1至3中任意一项所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于：所述真空腔(1)的表面粗糙度Ra达到0.8-1.6。
5.根据上述权利要求1至3中任意一项所述的用于质谱仪的真空腔系统，其特征在于：所述真空腔(1)材料为铝材料。
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