[实用新型]电子轰击离子源控制系统

权利要求书

1.一种电子轰击离子源控制系统，包括上位机(6)和第一灯丝(7)，所述上位机(6)分别连有离子源加热模块(1)和离子源温度反馈模块(2)，所述离子源加热模块(1)的HT+端(102)连接有一加热棒(101)用于加热离子源，所述离子源温度反馈模块(2)的PT+端(202)连接有一铂电阻(201)，用于感测离子源的温度，其特征在于：所述离子源加热模块(1)采用的是脉宽调制方式控制电压输出，输出电压值可以从0-24V线性可调。

2.根据权利要求1所述的电子轰击离子源控制系统，其特征在于：所述电子轰击离子源控制系统还包括与所述第一灯丝(7)顺次连接并形成一闭环回路的一灯丝切换模块(3)、一第二灯丝(8)、一灯丝发射电流采集模块(4)和一灯丝发射电流控制模块(5)。

3.根据权利要求2所述的电子轰击离子源控制系统，其特征在于：所述灯丝发射电流采集模块(4)用于采集所述第一灯丝(7)或第二灯丝(8)作为电子发射极发射的电子流信号。

4.根据权利要求1所述的电子轰击离子源控制系统，其特征在于：所述第一灯丝(7)为铼钨合金材料。

5.根据权利要求2或3所述的电子轰击离子源控制系统，其特征在于：所述第二灯丝(8)为铼钨合金材料。