[实用新型]ITO-Zr透明导电膜有效
申请号: | 201020218343.2 | 申请日: | 2010-06-04 |
公开(公告)号: | CN201809433U | 公开(公告)日: | 2011-04-27 |
发明(设计)人: | 曾鸿斌 | 申请(专利权)人: | 深圳市海森应用材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35 |
代理公司: | 深圳市睿智专利事务所 44209 | 代理人: | 陈鸿荫;郭文姬 |
地址: | 518108 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ito zr 透明 导电 | ||
【权利要求书】:
1.一种ITO-Zr透明导电膜,其特征在于:包括透明基材层(1)和在所述透明基材层上沉积ITO导电膜时通过Zr掺杂处理所获得的ITO-Zr导电层(2)。
2.如权利要求1所述的ITO-Zr透明导电膜,其特征在于:所述基材层是玻璃或PET。
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