[实用新型]振镜扫描装置

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种振镜扫描装置。

【背景技术】

振镜安装座是振镜扫描装置中的一个严格遵守X、Y振镜工作时的技术指标设计加工而成的基本零件，其基本特点是安装有X、Y振镜和底部的聚焦镜头。由此看出，振镜安装座上必须有四个孔使其内部腔体能与体外联通，即X、Y振镜的安装孔、聚焦镜头的安装孔、激光进光孔。

传统的振镜安装座前三个孔由于装有相应的光学元器件，实际上已经全密封，只剩下激光的进光孔未密封。图1是传统的振镜扫描装置的立体图，图2是该振镜扫描装置去除了振镜安装座后的示意图。传统的振镜扫描装置包括振镜安装座110、X振镜120、Y振镜130以及聚焦镜头140，其中X振镜120、Y振镜130、聚焦镜头140均安装于振镜安装座110上。其工作原理是激光器发出的激光经振镜安装座110上的进光孔112打在X振镜120上，经X振镜120反射打在Y振镜130上，最后被Y振镜130反射到聚焦镜头140上，并经聚焦镜头140聚焦后打在工件表面上。

传统的振镜扫描装置还包括用于校准的准直光源150和合束镜160，如图3所示。准直光源150通过电线152获得工作电源，并发出波长为650nm的红激光，其光路与激光器发出的激光光路共面且垂直。合束镜160设于进光孔112前且位于红激光和激光器发出的激光的光路上，合束镜160与上述两束激光均成45度夹角，使得他们在通过合束镜160后的光路重合。这样在激光器发光前，先让准直光源150发出红光，经两振镜反射后在工件表面模拟出激光器发出的激光的位置。

然而传统的振镜安装座的内腔通过进光孔与外界连通，会使振镜及其他元件受到灰尘等杂质的污染，影响设备的光学性能，甚至可能导致镜片烧毁。

【实用新型内容】

基于此，有必要提供一种避免振镜安装座内腔通过进光孔直接与外界直接相通的振镜扫描装置。

一种振镜扫描装置，包括振镜安装座，还包括安装在所述振镜安装座的进光孔处形成密封结构的合束镜、以及安装在所述振镜安装座上的准直光源；所述准直光源发出的激光光束经合束镜反射后与从所述合束镜进入的激光光束重合。

优选的，所述振镜扫描装置还包括准直光源安装座，所述准直光源通过准直光源安装座安装在振镜安装座上，所述振镜安装座上设有安装准直光源的准直光源光路孔。

优选的，所述准直光源安装座包括一个中间开孔的圆盘，且在开孔处有一个与所述圆盘一体成型、内径与所述圆盘中间的孔的直径相等的环；所述准直光源穿过环、圆盘中间的孔以及振镜安装座上的准直光源光路孔，安装在振镜安装座上。

优选的，所述准直光源安装座是通过螺钉固定在振镜安装座上的。

优选的，所述螺钉的数量为3个，且相互之间呈正三角形排列。

优选的，所述圆盘和振镜安装座之间设有弹性密封圈。

优选的，所述弹性密封圈的材质为硅胶。

优选的，还包括一个将所述准直光源固定在准直光源安装座上的螺钉。

优选的，所述准直光源为发射红光的电子器件。

优选的，还包括安装在所述振镜安装座上的X振镜、Y振镜及聚焦镜头，所述准直光源发出的激光和从合束镜进入的激光过合束镜后入射到所述X振镜上，再经X振镜反射到Y振镜上，最后经Y振镜反射到所述聚焦镜头上。

上述振镜扫描装置通过将合束镜安装在进光孔处，形成了密封结构，避免振镜安装座内腔通过进光孔直接与外界直接相通，从而避免安装在振镜安装座中的光学器件免受灰尘的影响，确保了设备的光学性能。

【附图说明】

图1为传统的振镜扫描装置的示意图；

图2传统的振镜扫描装置去除了振镜安装座后的示意图；

图3为传统的振镜扫描装置用于校准时的示意图；

图4为一个实施例中本实用新型振镜扫描装置的正视图；

图5为图4的剖面图；

图6为图4的立体图；

图7为准直光源安装座的示意图。

【具体实施方式】

图4为一个实施例中本实用新型振镜扫描装置的正视图，图5为图4的剖面图，图6为图4的立体图。包括振镜安装座210、X振镜220、Y振镜230、聚焦镜头240、准直光源250以及合束镜260。其中X振镜220、Y振镜230、聚焦镜头240均安装于振镜安装座210上。其与传统技术的主要区别在于，合束镜260安装在进光孔处，形成密封结构；且在振镜安装座210上开出一个准直光源光路孔，将准直光源250安装在振镜安装座210上。准直光源250发出的激光光束经合束镜260反射后与从合束镜260进入的激光光束重合。