[实用新型]微型油封式双级真空泵

权利要求书

1.微型油封式双级真空泵，其特征是：由进气口、串联通道油槽、螺杆、串联通道、排气口、排气口油槽、散热片、泵体、前级工作室、橡胶底座、后级工作室、旋片弹簧、转子、旋片组成；泵体上设置进气口、排气口，泵体下设置橡胶底座，泵体内安装前级工作室和后级工作室，所述的前级工作室和后级工作室在同一泵体内，两级工作室前后串联，两级工作室内都有旋片、旋片弹簧和转子。

2.根据权利要求1所说的微型油封式双级真空泵，其特征在于旋片采用氮化硅陶瓷材料制作，转子及泵内腔镀氮化硅薄膜，采用油封方式。

3.根据权利要求1所说的微型油封式双级真空泵，其特征在于进气口较排气口管径细，两级工作室串联处连接油槽，油槽中设有一螺杆。