[实用新型]一种三氯氢硅提纯装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅提纯装置，它包括三氯氢硅精馏塔、四氯化硅精馏塔，其特征在于：它增加了脱轻塔[1]，并采用两级三氯氢硅精馏塔，脱轻塔[1]与第一级三氯氢硅精馏塔[8]连接，第二级三氯氢硅精馏塔[12]接在第一级三氯氢硅精馏塔[8]后，四氯化硅精馏塔[20]接在第二级三氯氢硅精馏塔[12]后，在第二级三氯氢硅精馏塔[12]与四氯化硅精馏塔[20]之间还接有中间罐[16]。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅提纯装置，其特征在于：所述四氯化硅精馏塔[20]为高效导向筛板塔。

3.根据权利要求2所述的三氯氢硅提纯装置，其特征在于：所述中间罐[16]的进料口与第二级三氯氢硅精馏塔塔底再沸器[15]相连接，中间罐[16]的出料口接四氯化硅精馏塔进料[18]。

4.根据权利要求3所述的三氯氢硅提纯装置，其特征在于：所述脱轻塔[1]与第一级三氯氢硅精馏塔[8]的连接管道中安装有脱轻塔出料泵[4]。