[实用新型]一种压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，包括动极板、动作部、定引出电极、动引出电极以及固定设置的基座和定极板，基座和定极板之间形成动作区，所述动作部位于动作区内并设置于基座底部；所述动极板固定于动作部上并与定极板相向设置，待测压力的变化可改变动极板与定极板之间的距离；

其特征在于：所述定极板和动极板均为绝缘体，并且定极板上朝向动极板的一侧设置有定极薄膜，动极板上朝向定极板的一侧设置有动极薄膜；所述定极薄膜与定引出电极电连接，动极薄膜与动引出电极电连接。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述动作部包括波纹膜片，所述波纹膜片与动极板连接。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述动作部还包括上板，所述上板固定于基座底部并与波纹膜片固定电连接，并且上板与波纹膜片之间形成气腔。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，在基座上设置有中空的引压气嘴；所述引压气嘴内的引压通道贯通基座并与气腔连通。

5.根据权利要求3或4所述的压力传感器，其特征在于，所述波纹膜片和上板均为导体；并且所述动引出电极设置于上板上，所述动极薄膜与波纹膜片电连接。

6.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述波纹膜片具有膜片凸起，所述动极板上具有可导电的焊盘，所述焊盘与膜片凸起固定电连接，并且焊盘与动极薄膜电连接。

7.根据权利要求6所述的压力传感器，其特征在于，所述焊盘、定极薄膜和动极薄膜均为金属镀层；焊盘和动极薄膜分别位于动极板相对的两侧，并通过导线电连接，所述导线为金属镀层。

8.根据权利要求1、2、3、4、6、7中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述定引出电极固定设置于定极板上；所述基座上开设有电极引出槽，所述定引出电极和动引出电极从电极引出槽延伸出基座。

9.根据权利要求1、2、3、4、6、7中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述基座上设置有第一连接部，定极板上设置有第二连接部，第一连接部可与第二连接部固定连接。

10.根据权利要求3、4、6、7中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述基座上与上板邻接的一侧设置有内凹槽和外凹槽，所述内凹槽和外凹槽均被上板覆盖，并且，所述内凹槽环设于引压通道外围，所述外凹槽环设于上板边缘在基座上所对应的位置。