[实用新型]硅晶片装片自动提升装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅晶片生产设备，特别是一种硅晶片装片自动提升装置。

背景技术

目前的硅晶片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染，又增加工人的劳动强度，无法提高生产效率。为了使硅晶片的装片能自动化，为此需要有将篮具能自动提升并一一将硅晶片插入的装置。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种生产效率高、不需人工操作，能自动提升并一一将硅晶片插入篮具内的硅晶片装片自动提升装置。

为了达到上述目的，本实用新型所设计的一种硅晶片装片自动提升装置，它包括底座和篮具托盘，其特征是在底座上固定有伺服电机，伺服电机的输出连接有螺杆，螺杆与托盘固定架内的内螺纹螺母连接，篮具托盘与托盘固定架固定，在篮具托盘上所置的篮具的插片处设有插片信号感应传感器，插片信号感应传感器的感应信号与伺服电机的信号控制连接。

本实用新型得到的一种硅晶片装片自动提升装置，使用时，将篮具置于篮具托盘内，每自动插入一片硅晶片，插片信号感应传感器都将感应到一次插片动作，然后传递给伺服电机，伺服电机走动确定的位置带动螺杆转动确定的旋转角度，从而带动篮具托盘随托盘固定架的上升而上升，最终按设定的高度提升硅晶片插入的篮具，将下一将插入使用的篮具格对准下一步自动插入的硅晶片，完成自动提升并一一将硅晶片插入篮具内的目的。

附图说明

图1是本实用新型实施例1结构示意图。

其中：底座1、伺服电机2、托盘固定架3、螺杆4、篮具托盘5、篮具6、篮具格7、内螺纹螺母8、插片信号感应传感器9。

具体实施方式

下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。

实施例：

如图1所示，本实施例描述的一种硅晶片装片自动提升装置，它包括底座1和篮具托盘5，在底座1上固定有伺服电机2，伺服电机2的输出连接有螺杆4，螺杆4与托盘固定架3内的内螺纹螺母8连接，篮具托盘5与托盘固定架3固定。在篮具托盘5上所置的篮具6的插片处设有插片信号感应传感器9，插片信号感应传感器9的感应信号与伺服电机2的信号控制连接。

使用时，将篮具6置于篮具托盘5内，每自动插入一片硅晶片，插片信号感应传感器9都将感应到一次插片动作，然后传递给伺服电机2，伺服电机2走动确定的位置带动螺杆4转动确定的旋转角度，从而带动篮具托盘5随托盘固定架3的上升而上升，最终按设定的高度提升硅晶片插入的篮具6，将下一将插入使用的篮具格7对准下一步自动插入的硅晶片，完成自动提升并一一将硅晶片插入篮具6内的目的。