[实用新型]尾气处理装置有效
| 申请号： | 201020246389.5 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201728040U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 杨志平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D46/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 装置 | ||
1.一种尾气处理装置，包括箱体，所述箱体的顶部设有用于抽排尾气的鼓风机，所述箱体的底部设有尾气进入口，所述箱体内由底部至顶部设有若干尾气处理组件，所述尾气处理组件包括喷水装置和过滤装置，所述过滤装置设于所述喷水装置的上方，所述喷水装置具有向底部方向扩散喷水的喷口，其特征在于，所述过滤装置倾斜设置于所述箱体内。
2.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤装置是内部填充有过滤球的过滤网层。
3.如权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤网层与喷水装置的水平面的夹角为10-70度。
4.如权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤网层与喷水装置的水平面的夹角为30-60度。
5.如权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤网层为长方体网状结构。
6.如权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤网层采用金属制成。
7.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述鼓风机具有与厂务的排气系统相连通的排气管。
8.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述箱体内位于最上方的尾气处理组件的上方设有用于引入空气的进气装置。
9.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进气装置是设于所述箱体侧壁的进气孔。
10.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述喷水装置经设于箱体侧壁的进水口与外部供水管连接。
11.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述箱体内设有两至四组尾气处理组件。
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