[实用新型]一种自动测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体检测装置，特别涉及一种自动测量装置。

背景技术

目前，随着半导体生产制造工业迅速发展，对制程中良率的提升也相应提高，而在制程中首要的是确保晶圆质量，否则具有缺陷的晶圆到后续制程中会出现问题，严重时造成晶圆报废，生产浪费。

目前半导体行业所使用的目检机台对于被测物件宏观缺陷的检验并不能量化管控，对于宏观缺陷的检测不能进行量测，存在不便。如果需要量测必须手动将被测物件拿出再使用量测工具来完成，量测工具与被测物件接触容易污染或刮伤被测物件并存在引进新缺陷和破片的风险，且手动量测使用直尺等比较原始的量测工具势必造成工程数据可靠性不高，操作过程繁杂、高风险等问题，容易造成缺陷产生的原因和相关机台的错误判断。

实用新型内容

本实用新型是为解决现有量测装置对宏观缺陷量测存在不便，以及容易污染和刮伤被测物件而引进新缺陷和破片的风险，其目的在于提供一种自动量测装置，来解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。

本实用新型涉及一种自动量测装置包括第一液晶显示器、光源、光源控制开关、第二液晶显示器、连接线、载物台；该光源位于该第一液晶显示器内部，该光源控制开关位于该第一液晶显示器上，第一液晶显示器与第二液晶显示器平行，并且该第一液晶显示器与该第二液晶显示器之间用连接线连接，该载物台的载物面垂直于水平面并且与第二液晶显示器平行。

优选地，该光源发出的光是激光，该光源位于该第一液晶显示器内部的中心。

优选地，该连接线安放在连接杆内部，连接杆的材料是塑料，并且通过聚乙烯材料固定在第一液晶显示器与第二液晶显示器之间。

优选地，该第一液晶显示器包括用户界面。

根据该自动量测装置，通过激光在第二液晶显示器中自动感应获取缺陷外形，并把数据信息通过连接线的传输显示在第一液晶显示器的用户界面上，通过自动量测和读取，能解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。

附图说明

图1为自动量测装置的结构示意图。

具体实施方式

下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。

本实用新型提供的自动量测装置，通过激光感应自动获取缺陷外形，并自动显示在液晶显示器的用户界面上，能解决手动操作过程中的繁杂、高风险、低效能等缺陷。

图1为自动量测装置的结构示意图。参照图1，自动量测装置100包括：第一液晶显示器101、光源102、光源控制开关103、连接线(图中未画出)、第二液晶显示器105、载物台106；光源102位于第一液晶显示器101内部，光源控制开关103位于第一液晶显示器101上，第一液晶显示器101与第二液晶显示器105平行，并且第一液晶显示器101与第二液晶显示器105之间用连接线(图中未画出)连接，载物台106的载物面垂直于水平面并且与第二液晶显示器105平行。

光源102位于第一液晶显示器101的内部中心位置，光源控制开关103位于第一液晶显示器101上，在量测过程中控制光源102的开启和关闭；被测物件107置于载物台106的载物面上，被测物件107垂直于水平面并且与第二液晶显示器105平行，第一液晶显示器101更包括一用户界面，该用户界面为第一液晶显示器101显示界面的一部分，用于显示测量数据的结果。

连接线(图中未画出)安放在连接杆104内部，连接杆104的材料是塑料，并且通过聚乙烯材料固定在第一液晶显示器101与第二液晶显示器105之间。本领域的普通技术人员应该理解，连接杆104的材料不仅仅局限为塑料，还可以是玻璃等其他材料。在自动量测装置100中，光源102发出的光是激光，而激光的方向性好，使测量值的精确度高并能有效地减小误差。被测物体107是存在外界窗口的半导体。

采用自动量测装置100能够自动从第一液晶显示器101的用户界面中获取测量结果，代替目前量测的手动操作，避免了手动操作过程中容易污染和刮伤被测物件107而引进新缺陷和破片的风险。解决了手动操作繁杂、高风险、低效能等缺陷