[实用新型]长度测量系统有效
| 申请号： | 201020246479.4 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201772862U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 康盛;刘永波;何广智 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 长度 测量 系统 | ||
1.一种长度测量系统，测量晶圆表面宏观缺陷的长度，其特征在于，包括光源装置、载片台和自动控制装置；
所述载片台位于所述光源装置的下方；
所述光源装置发射的光束投射到所述载片台的表面上；
所述自动控制装置与所述光源装置和载片台连接。
2.如权利要求1所述的长度测量系统，其特征在于，所述光源装置包括外壳、光学系统、两片挡片和固定转轴；
所述光学系统设置在所述外壳内；
所述固定转轴设置在所述外壳的上部；
所述外壳的底端设有一细缝条，所述光学系统发射的光束经由该细缝条投射到所述载片台的表面上；
所述两片挡片设置在所述外壳的底端，所述两片挡片与所述细缝条滑动连接，所述两片挡片沿所述细缝条的长度方向滑动，改变所述两片挡片遮挡所述细缝条的长度，改变所述光源装置投射到所述载片台表面的投影长度；
所述外壳、光学系统和两片挡片同步绕所述固定转轴转动，改变所述光源装置发射的光束相对所述载片台表面的位置。
3.如权利要求2所述的长度测量系统，其特征在于，所述细缝条的长度方向平行于所述固定转轴所在的直线。
4.如权利要求2所述的长度测量系统，其特征在于，所述固定转轴平行于所述载片台表面所在的平面。
5.如权利要求2所述的长度测量系统，其特征在于，所述光学系统包括点光源、第一透镜和第二透镜；
所述点光源、第一透镜和第二透镜从上至下依次排列；
所述第一透镜和第二透镜的光轴相互重合；
所述点光源设置在所述第一透镜的焦点上。
6.如权利要求5所述的长度测量系统，其特征在于，所述固定转轴垂直于所述第一透镜和第二透镜的光轴。
7.如权利要求5所述的长度测量系统，其特征在于，所述第一透镜和第二透镜均为凸透镜。
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