[实用新型]一种固定对准装置

权利要求书

1.一种固定对准装置，固定在半自动探针机台的卡盘上，所述半自动探针机台的卡盘上放置晶圆，其特征在于，所述固定对准装置位于所述卡盘的边缘，与所述晶圆的基准标记位置对应，所述固定对准装置包括挡片，所述挡片与所述晶圆的基准标记的位置相对应，所述挡片的头部压在所述晶圆上方，所述挡片的头部形状和大小与所述晶圆的基准标记的形状和大小完全相同，所述挡片的尾部固定在所述卡盘的边缘。

2.如权利要求1所述的固定对准装置，其特征在于，所述挡片的材料为陶瓷。

3.如权利要求1所述的固定对准装置，其特征在于，所述固定对准装置还包括固定杆，所述固定杆垂直固定在所述卡盘的边缘上，所述挡片的尾部固定在所述固定杆上。

4.如权利要求3所述的固定对准装置，其特征在于，所述固定杆的材料为不锈钢。

5.如权利要求1所述的固定对准装置，其特征在于，所述固定对准装置还包括两个固定螺母，所述两个固定螺母均固定于所述固定杆上，其中一固定螺母位于所述挡片的下方支撑所述挡片，其中另一固定螺母位于所述挡片的上方，压紧所述挡片。

6.如权利要求5所述的固定对准装置，其特征在于，所述固定螺母的材料为不锈钢。

7.如权利要求1所述的固定对准装置，其特征在于，所述挡片为可折叠形状，所述挡片还包括折叠开关，所述折叠开关跨过所述挡片的折叠部位。