[实用新型]硅片料篮传输线

权利要求书

1.一种硅片料篮传输线，其特征在于，包括用于承载硅片料篮(2)的输送带(1)和用于控制所述输送带(1)运行或停止的控制装置，所述输送带(1)前进方向与清洗所述硅片的清洗机的送料方向相反。

2.根据权利要求1所述的硅片料篮传输线，其特征在于，还包括与所述输送带(1)的表面垂直的护栏(3)。

3.根据权利要求2所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述输送带(1)的宽度与所述料篮(2)的宽度相等。

4.根据权利要求3所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述输送带(1)的长度略大于所述清洗机的长度。

5.根据权利要求4所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述输送带(1)由聚四氟乙烯材料形成的长条输送带。

6.根据权利要求1至5任一项所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述控制装置包括检测所述料篮(2)是否送入或离开所述输送带(1)的检测部件(4)，和接收所述检测部件(4)的检测信号，并控制所述输送带(1)运行或停止的控制部件。

7.根据权利要求6所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述检测部件(4)包括设于所述输送带(1)进料口的第一检测部件(41)。

8.根据权利要求7所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述检测部件(4)包括沿所述输送带(1)的前进方向依次设置的第二检测部件(42)和第三检测部件(43)，所述第三检测部件(43)靠近所述输送带(1)的出料口。

9.根据权利要求8所述的硅片料篮传输线，其特征在于，所述检测部件(4)具体为光电传感器。