[实用新型]移动式弧光放电离子镀膜设备

权利要求书

1.一种移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：该设备设有真空腔体、真空机组、蒸发源、电源控制单元、温度监测单元、复合真空计，抽气机组的抽气口与真空腔体的排气口相连接，蒸发源电源控制单元的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和蒸发源的靶材上；偏压电源的正极和负极分别连接于真空腔体的外壳和被镀工件上；复合真空计的高、低真空规探头分别与安装在真空腔体底部的离子真空规管和热阻规管相连接；温度监测单元与安装在真空腔体底部的热电偶相连接。

2.按照权利要求1所述的移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：真空腔体的下部安装有平衡支柱。

3.按照权利要求1所述的移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：真空腔体材料为不锈钢，真空腔体壁厚为8～10毫米，真空腔体内径为￠300～400毫米，真空腔体高度为200～300毫米。

4.按照权利要求1所述的移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：真空腔体设有排气口、窥视孔、冷却水管、工作气体导入口、热电偶导入口、蒸发源安装法兰、真空规管安装孔，真空腔体的两侧分别开有排气口、窥视孔，真空腔体的侧壁为双层结构，所述双层结构之间设有冷却水管，真空腔体底部开有工作气体导入口、热电偶导入口和真空规管安装孔，真空腔体设有蒸发源安装法兰。

5.按照权利要求1所述的移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：真空机组设有机械泵、扩散泵、扩散泵阀、初级阀、次级阀、过渡连接弯管、真空室放气阀、泵口电磁充气阀、真空规管安装孔，泵口电磁充气阀与机械泵泵口直接相连，机械泵泵口电磁充气阀通过连接管分别与扩散泵阀和初级阀相连接，真空规管安装孔置于与扩散泵阀连接的连接管圆周上，初级阀通过连接管与过渡连接弯管相连，扩散泵阀通过连接管与扩散泵的排气口相连，次级阀的一端与扩散泵的抽气口直连、次级阀的另一端与过渡连接弯管的一端相连，真空室放气阀安装在过渡连接弯管的圆周上。

6.按照权利要求1所述的移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：蒸发源设有蒸发源安装法兰、弧源绝缘件、弧源紧固件、弧源导管、弧源端盖、冷却水导入管、冷却水导入管紧固件、引弧针、弧源磁铁组件、靶材、屏蔽罩，屏蔽罩绝缘件固定在蒸发源安装法兰内侧，并与靶材圆周保持间隙；靶材通过螺纹与弧源导管相互连接，弧源导管一端通过密封圈与靶材密封；弧源导管穿过蒸发源安装法兰中孔，弧源导管与蒸发源安装法兰之间安装绝缘垫保持绝缘；弧源导管外设置弧源绝缘件，弧源绝缘件的另一端通过与弧源导管螺纹连接的弧源紧固件压紧，弧源紧固件通过螺纹把弧源导管和靶材固定在蒸发源安装法兰上；弧源端盖通过螺纹拧紧在弧源导管的另一端，弧源导管的尾部通过密封圈与弧源端盖密封；弧源磁铁组件通过螺纹安装在冷却水导入管的一端，冷却水导入管穿越弧源端盖的中孔，通过冷却水导入管紧固件螺纹连接在弧源端盖上，弧源磁铁组件通过置于冷却水导入管的一端并紧套在冷却水导入管圆周上的密封圈达到液体密封；引弧针安装在蒸发源安装法兰上，引弧针的头部与靶材表面保持1.5～2毫米的距离。

7.按照权利要求6所述的移动式弧光放电离子镀膜设备，其特征在于：还设有压盖，压盖设于弧源绝缘件一端的台肩上，使弧源绝缘件固定于蒸发源安装法兰外侧。