[实用新型]通用型石英硅片舟无效

专利信息
申请号: 201020251789.5 申请日: 2010-07-08
公开(公告)号: CN201732806U 公开(公告)日: 2011-02-02
发明(设计)人: 周文斌 申请(专利权)人: 湖州金科石英有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 王秀丽
地址: 313000 浙江省湖州市吴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 通用型 石英 硅片
【权利要求书】:

1.通用型石英硅片舟,由主架(1)、下槽棒(2)、上槽棒(3)和硅片(4)组成,下槽棒(2)和上槽棒(3)固定在主架(1)上,其特征在于:硅片(4)的相邻二侧分别插套在二根下槽棒(2)的与水平面呈45°角的底孔(21)和左右二根上槽棒(3)的与水平面呈45°角的插孔(31)中。

2.根据权利要求1所述的通用型石英硅片舟,其特征在于:下槽棒(2)的底孔(21)轴线与垂直向呈3°夹角,上槽棒(3)的插孔(31)轴线与垂直向呈3°夹角。 

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