[实用新型]一种微波频段下铁电材料铁电性的测量装置

权利要求书

1.一种微波频段下铁电材料铁电性的测量装置，包括矢量网络分析仪、计算机、高压源和测试电路板，其特征在于：测试电路板包括三个微带二端口网络，分别为直通网络、延迟网络、开路及测量网络；所述的三个微带二端口网络从两端到中间均依次有同轴接头、微带线、高阻四分之一波长短路枝节、耐高压带通滤波器、直流馈电电路；不同的是，直通网络中的两个直流馈电电路之间直接连接，延迟网络的两个直流馈电电路之间通过延迟线连接，开路及测量网络的两个直流馈电电路之间有一个缝隙；将高压源分别连接在三个微带二端口网络的直流馈电电路上，为待测样品提供直流偏压；计算机从矢量网络分析仪中读取三个微带二端口网络的S参数，并根据读取的S参数计算出铁电材料的介电常数。

2.根据权利要求1所述的一种微波频段下铁电材料铁电性的测量装置，其特征在于：所述的高压源的输出直流电压从0V到3kV变化。

3.根据权利要求1所述的一种微波频段下铁电材料铁电性的测量装置，其特征在于：所述的耐高压带通滤波器为开路的四分之一波长平行板传输线，传输线中的介质采用相对介电常数超过10的高介电常数材料，耐超过3kV的电压。

4.根据权利要求1所述的一种微波频段下铁电材料铁电性的测量方法，其特征在于：所述的待测样品的横向尺寸小于十分之一波长，这样可以将两边覆有金属的待测样品等效为平行板电容器。