[实用新型]电容式加速度传感器

权利要求书

1.一种电容式加速度传感器，其包括测量电极组及配重电极，其特征在于：所述测量电极组包括多个第一静电极部分、多个第二静电极部分，所述配重电极包括多个动电极部分，每一动电极部分对应与所述第一静电极部分及所述第二静电极部分之间分别形成电容结构，所述配重电极相对于所述测量电极组加速移动。

2.根据权利要求1所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述第一静电极部分与所述第二静电极位于同一平面，且所述第一静电极部分与第二静电极部分依次重复顺序排列。

3.根据权利要求2所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述动电极宽度对应大于相邻的两个第一静电极部分与第二静电极部分之间的间隔，沿垂直于第一静电极部分及第二静电极部分所在平面方向上，所述动电极对应与二相邻的第一静电极部分和第二静电极部分相互交叠。

4.根据权利要求1所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述第一静电极部分与所述第二静电极位于不同水平面内，沿垂直于第一静电极部分及第二静电极部分所在平面方向上，所述动电极对应与二相邻的第一静电极部分和第二静电极部分相互交叠。

5.根据权利要求4所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述第一静电极部分与第二静电极部分位于所述动电极部分的同一侧设置。

6.根据权利要求4所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述第一静电极部分与第二静电极部分分别位于所述动电极部分的二相对侧设置，使得所述动电极部分夹于所述第一静电极部分与所述第二静电极部分之间。

7.根据权利要求1-6所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述测量电极组包括相互啮合设置的第一测量电极和第二测量电极，每一第一测量电极和第二测量电极呈梳状设置。

8.根据权利要求1所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述第一测量电极还包括一固定部分，所述第一静电极部分垂直于所述固定部分设置，且所述多个第一静电极部分彼此均匀间隔设置。

9.根据权利要求1所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述配重电极还包括一栅状电极，所述栅状电极包括一矩形固定框及二弹性件，所述二弹性件分别设置在所述栅状电极的两端，所述多个动电极部分固定在所述矩形固定框。

10.根据权利要求1所述电容式加速度传感器，其特征在于，所述动电极部分与所述第一静电极部分之间形成一电容结构，所述动电极部分与所述第二静电极部分之间形成另一电容结构，所述电容式加速度传感器还包括一电容测量接口电路，其分别接收所述电容结构的电容变化信号。