[实用新型]超纯氢的手推式小型净化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气体净化装置，特别涉及体积小、方便使用的手推式小型的超纯氢净化装置。

背景技术

电子特气超纯氢，是现代电子集成电路、光纤、纳米等行业，尖端科技上的重要原料。随着新兴产业和电子科技的发展，应用越来越广。

市场上用量大的瓶装高压超纯氢，通常采用二种生产方法：一是稀有金属氢化物吸放法。二是催化氧化吸附后，再用液氮低温下深度吸附除杂法。但这二种工艺流程、操作使用较复杂，一次性投资大，需一个固定场所，后者还需要氢气压缩机，常用于大规模和超大规模集成电路制造等超纯氢用量大的用户或大气体生产公司。可在实际需求中，许多用户常只需1-2瓶或不多的几瓶，对于这种需求上述的两种获得超纯氢的方式就显得不够灵活，无法现场解决现实的需要。

发明内容

本实用新型为了克服上述缺点，提供了一种体积小、方便使用的超纯氢的手推式小型净化装置。

本实用新型的技术方案是：包括原料储罐，超纯氢净化器，产品储罐，超纯氢净化器连通有过滤器，过滤器连通产品储罐，所述的超纯氢净化器、过滤器设于带轮子的箱式框架中，换热器一端有原料进气管伸出带轮子的箱式框架外连接原料储罐，原料进气管上设有高压氢气孔板流量计，过滤器一端有产品出气管伸出带轮子的箱式框架外连接产品储罐，产品出气管上设有自力式恒压器。

所述的超纯氢净化器包括两个内部结构相同的子净化器，分别为左净化器和右净化器，左净化器和右净化器的上端进气口有两条并联的管路连通，一条管路上设有高压阀V1和高压阀V2，另一条管路上设有高压阀V3和高压阀V4，所述的原料进气管经过高压氢气孔板流量计后连通至高压阀V1和高压阀V2之间的管路上，高压阀V3和高压阀V4之间还接有放空管路，左净化器和右净化器的下端出气口也有两条并联的管路连通，一条管路上设有高压阀V5和高压阀V6，另一条管路上设有高压阀V7和高压阀V8，其中高压阀V5和高压阀V6之间的还有一管路先连通减压器然后连通至转子流量计入口，转子流量计出口再通过管路连通至高压阀V7和高压阀V8之间。

所述的高压氦及高压氩气孔板流量计设置流量速度为19～21m³/h，所述自力式恒压器的稳压在13～14MPa，所述减压器减压至0.2～0.3Mpa，所述转子流量计设置流量速度为1.5～1.8m³/h。

本实用新型投资少、体积小、质量轻，在对超纯氢需求量较少的环境中使用极为方便。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2为图1中子净化器的结构示意图；

图中：1、集成格组瓶，2、进气管，3、高压氢气孔板流量计，4、左净化器，41、右净化器，5、过滤器，6、减压器，7、高压自力式恒压器，8、转子流量计，9、带轮子的箱式框架，10、超纯氢钢瓶，21、密闭罐，22、高压外套螺纹接头，23、不锈钢扁十字横条架，24、不锈钢丝网卷筒，25、不锈钢加热套管，26、夹套层，27、外壳保温层，281、第一床层，282、第二床层，283、第三床层，284、第四床层，285、第五床层，291、上气流均布层，292、下气流均布层。

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型的实施方式进行说明，本实用新型的目的和效果将变得更加明显。

本实用新型是针对超纯氢现有生产和需求状况，提供一种采用集装格、组瓶装的高纯氢为原料，于恒流20m³/h、恒压13.5MPa、低气速0.035m/s、-70℃至液氮低温状态下，使用多种类吸附剂多床层地除去微量杂质水份、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氮等多杂质的超纯氢的手推式小型净化装置，并直灌洁净钢瓶。装置每小时可获18立方米的超纯氢产品。