[实用新型]一种大直径硅片抛光装置有效
| 申请号： | 201020261749.9 | 申请日： | 2010-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN201711850U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 库黎明;闫志瑞;索思卓;鲁进军;常青 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直径 硅片 抛光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种大直径硅片抛光装置，其特征在于：它包括：垂直方向设置的、带动硅片进行旋转的游轮圈(3)、位于游轮圈左侧的、由左传动部分(2)带动的左抛光轮(1)，位于游轮圈右侧的、由右传动部分(5)带动的右抛光轮(4)，左、右抛光轮上分别贴有用于硅片抛光的抛光垫(7)，抛光轮表面设有供抛光液到硅片表面的孔，孔与内置于传动部分和抛光轮内的软管(6)相通。
2.按照权利要求1所要求的硅片抛光装置，其特征在于：所述的左、右抛光轮为抛光盘。
3.按照权利要求1所要求的硅片抛光装置，其特征在于：抛光轮的材料为金属或陶瓷。
4.按照权利要求1所要求的硅片抛光装置，其特征在于：抛光轮直径为150mm～250mm。
5.按照权利要求1或4所要求的硅片抛光装置，其特征在于：抛光轮上供抛光液的孔的数量为1～50个。
6.按照权利要求1所要求的硅片抛光装置，其特征在于：游轮圈材料为树脂。
7.按照权利要求1所要求的硅片抛光装置，其特征在于：抛光液供液部分的管道材料为树脂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司，未经北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020261749.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
