[实用新型]链式烧结炉氢气隔离装置无效
申请号: | 201020263066.7 | 申请日: | 2010-07-15 |
公开(公告)号: | CN201772753U | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
发明(设计)人: | 郭茂玉;李奎 | 申请(专利权)人: | 蚌埠富源电子科技有限责任公司 |
主分类号: | F27B21/08 | 分类号: | F27B21/08;C03C27/02 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 链式 烧结炉 氢气 隔离 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及气体隔离装置,特别是涉及一种链式烧结炉氢气隔离装置。
背景技术
随着我国电子封装业的飞速发展,直接促进着金属—玻璃封装技术的发展,作为封装形式之一的金属—玻璃封装,近年来已形成了一个庞大的技术产业。金属—玻璃封装主要应用于集成电路、继电器、接插件、锂电池、微波器件、传感器、钽电容器、压缩机等产品中,这些产品广泛应用于人类活动的各个领域,如航空、航天、兵器、船舶、汽车等工业以及各类家用电器、各类通讯器材直至儿童玩具。因此金属—玻璃封装行业近年来得到了迅猛发展,而金属—玻璃封装的关键工艺设备之一就是气体保护烧结炉。
根据金属与玻璃封结的原理,金属之所以能和玻璃封结到一起且具有较好的气密性,主要靠金属氧化物与玻璃中的氧化物在高温下牢牢的结合而成的。因此金属在封结之前其表面必须预先氧化,使其表面生成一层结合致密、牢固的氧化膜,而烧结过程中加入少量氢气主要是保护金属零件,防止金属零件在高温下过氧化,但是由于氢气在800℃左右对金属氧化物具有较强的还原作用,而玻璃与金属氧化物牢固结合的温度是980℃左右,如果氢气进入高温炉膛,就会使得在玻璃与金属结合之前,氢气就把金属氧化物还原掉,直接影响玻璃和金属封结的质量,影响产品的性能。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了克服链式烧结炉氢气易流入高温区炉膛内还原金属氧化物的缺点,提供的一种链式烧结炉氢气隔离装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
链式烧结炉氢气隔离装置,包括高温区炉膛、低温区炉膛、冷却区炉膛,在三个炉膛端口处分别设有相应的氮气管道、氮氢混合管道与炉膛相通,所述的氮气管道共同与一个气体分配器连接,其特征在于:在氮氢混合管道与炉膛连接处前端的高温区炉膛四周设有气体通道,气体通道内的炉膛周边上设有一组进气孔,气体通道上设有进气口,进气口通过相应的氮气管道与气体分配器连接。
在上述的主要技术方案的基础上,可以增加以下进一步完善的技术方案:
在气体通道上设有一对进气口,每个进气口通过相应的连接管与氮气管道连接。
在每个氮气管道上依次设有相应的气阀、流量计。
所述的一组进气孔在高温区炉膛周边上均匀分布,均匀分布的进气孔可以是使氮气在高温区炉膛内形成一层封闭的氮气幕,阻隔了后部的氢气向高温区炉膛流动。
所述的一对的进气口设置在气体通道的上下两侧。
本实用新型的有益效果是可以通过本装置在高温区炉膛端口形成氮气保护幕,阻止氢气流入高温区炉膛将金属氧化物还原;提高了玻璃与金属封结的质量。
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
附图说明:
图1为本实用新型的主视图;
图2为本实用新型的主视图的A-A剖视图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型链式烧结炉氢气隔离装置,包括依次相连接的高温区炉膛3、低温区炉膛2和冷却区炉膛1,另外还包括主氮气管道8和氢气管道11,在氢气管道11上依次设有相应的氢气压力表10、气阀6和流量计5,在主氮气管道8上依次设有相应的氮气压力表9、气阀6和流量计5,主氮气管道8与气体分配器7连接,气体分配器7与五个分支氮气管道4连接,在每个氮气管道4上设有相应的气阀6和流量计5,其中两个氮气管道4分别与高温区炉膛3的进口端和冷却区炉膛1的出口端配合连接,第三个氮气管道4通过连接管分别与高温区炉膛3的前端端口和后端端口配合连接,第四个氮气管道4与氢气管道11共同与一个氮氢混合器12连接,氮氢混合器12通过氮氢混合管道13与低温区炉膛2的前端端口配合连接,如图2所示,在氮氢混合管道连接处前端对应的高温区炉膛3的端口四周设有气体通道14,气体通道14在炉膛四周形成一个封闭的箱体,在气体通道14上下两侧上设有一对进气口15,每个进气口通过相应的连接管与第五个氮气管道连接,气体通道14内的炉膛四周边上设有一组进气孔16,在高温区炉膛3两对称长边上均匀分布十一个进气孔16,在两对称短边上均匀分布七个进气孔16,进气孔的数量可以根据炉膛的大小增加或减少,氮气通过进气口进入气体通道,再通过进气孔进入炉膛形成氮气幕,阻隔了后部的氢气向高温区炉膛流动。
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