[实用新型]一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉

说明书

技术领域

本实用新型属于光伏产业技术领域，涉及采用改良西门子法生产多晶硅过程中，还原炉内生长多晶硅的载体-硅芯的装置，具体涉及一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉。

背景技术

随着全球对绿色能源的共识，光伏产业得以迅猛发展，作为光伏产业链条中的上游产品，多晶硅供不应求，国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业，发展规模越来越大，硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节，需求也越来越大。

目前大量使用的硅芯炉，一次只能拉制一根硅芯，一炉次只能拉制4-6根硅芯，面对巨量的市场需求，需要投入大量的硅芯炉进行生产，设备占地面积越来越大，人力﹑物力及能源消耗巨大，而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一，因此，从提高设备效率，节能降耗，节约成本方面考虑，很有必要研发性能更为卓越的硅芯设备。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，解决了现有硅芯炉单炉次产量低，人力﹑物力及能源消耗巨大的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，包括连通的上炉室和下炉室，上炉室的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置，上炉室的上方设置有上传动装置，下炉室内部设置有高频电极及感应加热组件，高频电极及感应加热组件包括高频感应加热器和高频电极组件；下炉室与上炉室中设置有贯通上下的导向钢丝，导向钢丝上安装有籽晶卡头座，籽晶卡头座与籽晶卡头挂接，上传动装置通过软轴与籽晶卡头座连接，籽晶卡头上的籽晶头与高频感应加热器中的硅芯拉制孔一一对应；

所述籽晶抓卸及转盘分度装置的结构是，包括设置在上炉室上盖上表面的转盘分度控制装置，以及位于上炉室内部的分度转盘，转盘分度控制装置和分度转盘同轴固定连接；分度转盘上设有一个硅芯拉制位、两个籽晶卡头放置位、两个硅芯放置位，共有五个工位。

本实用新型的有益效果是，一次能够拉制5-6根硅芯，一炉次能够拉制15-18根硅芯，大大提高了硅芯的生产效率，降低了单根硅芯的能耗，减少了人力，物力的投入，从而降低了多晶硅生产过程的成本。

附图说明

图1 是本实用新型的硅芯炉主体结构示意图；

图2是本实用新型装置中的导向架、籽晶卡头、感应加热器以及导向钢丝组件局部连接示意图；

图3是本实用新型装置中的籽晶抓卸及转盘分度装置示意图；

图4是图2中的导向架与籽晶卡头结构局部放大示意图；

图5是本实用新型装置中的分度转盘结构示意图；

图6是本实用新型装置中的高频电极及感应加热组件俯视示意图

图7是本实用新型装置中的五根硅芯高频感应加热器实施例示意图；

图8是本实用新型装置中的六根硅芯高频感应加热器实施例示意图。

图中，1.上传动装置；2.过渡副室；3.籽晶抓卸及转盘分度装置；4.上炉室；5.下炉室；6.充气装置；7.高频电极及感应加热组件；8.抽空装置；9.下传动装置；10.机架；11.水冷却装置；12.槽路滑车；13.高频槽路；14.真空泵；15.上夹块；16.陶瓷套；17.下夹块；18.导向钢丝；19.转盘分度控制装置；20.籽晶卡头座；21.籽晶卡头；22.分度转盘；23.可调螺母及螺母座；24.高频电极组件；25.高频感应加热器；26.硅芯拉制位；27.籽晶卡头放置位；28.分度转盘位；29.硅芯放置位；30.锥台；31.硅芯拉制孔；32.分流槽；33.中心孔；37.软轴；38.连接轴；39.导向架；41.压母；43.销轴；44.连接端头；45.固定盘；46.籽晶头。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

如图1、图2，本实用新型装置的硅芯炉结构是，在机架10中设置有下传动装置9和水冷却装置11，机架10的台面上及后部安装有下炉室5和槽路滑车12，槽路滑车12上设置有与高频电源相连接的高频槽路13，下炉室5内部设置有充气装置6、高频电极及感应加热组件7、抽空装置8，其中的充气装置6与外界的供氩气装置连接，高频电极及感应加热组件7与高频槽路13连接，抽空装置8与外界的真空泵14连接；下炉室5向上与上炉室4连通，下炉室5与上炉室4中设置有贯通上下的导向钢丝18，导向钢丝18上设置有可上下滑动的籽晶卡头座20，上炉室4的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置3，上炉室4的上表面设置有过渡副室2，过渡副室2的上方设置有上传动装置1。