[实用新型]一种用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉无效
| 申请号： | 201020263705.X | 申请日： | 2010-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN201817573U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王敬 | 申请（专利权）人： | 王敬 |
| 主分类号： | C30B15/08 | 分类号： | C30B15/08;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 保温 以及 具有 | ||
1.一种保温筒，用于单晶炉，其特征在于，在所述保温筒的内层的内侧形成有热反射层，其中，所述热反射层的材料选择成、对入射到所述热反射层上的热量的反射量大于将所述热量入射到所述保温筒的内层上时的反射量。
2.如权利要求1所述的保温筒，其特征在于，所述热反射层的内表面的表面粗糙度小于25μm。
3.如权利要求1所述的保温筒，其特征在于，所述热反射层由膜构成。
4.如权利要求1所述的保温筒，其特征在于，所述热反射层由垫衬构成。
5.如权利要求4所述的保温筒，其特征在于，所述垫衬为多个，所述垫衬通过紧固件连接至所述保温筒。
6.一种单晶炉，包括：
上炉体；
下炉体，所述下炉体与所述上炉体相配合且纵向可移动；
设置在所述下炉体内的支撑装置，所述支撑装置上设置有坩埚；
设置在所述坩埚外周的至少一个加热器，所述加热器用于在所述下炉体和所述上炉体闭合时对所述坩埚进行加热；和
保温筒，所述保温筒设置在所述加热器外周且其顶端高度高于所述坩埚的顶端高度，其中，
在所述保温筒的内层的内侧形成有热反射层，所述热反射层的材料选择成、对入射到所述热反射层上的热量的反射量大于将所述热量入射到所述内层上时的反射量。
7.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述热反射层的内表面的表面粗糙度小于25μm。
8.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述热反射层由膜构成。
9.如权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，所述热反射层由垫衬构成。
10.如权利要求9所述的单晶炉，其特征在于，所述垫衬为多个，所述垫衬通过紧固件连接至所述保温筒。
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