[实用新型]用于检查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃板的检查。 

术语定义 

用在本实用新型说明书和权利要求中的如下术语，将具有如下含义： 

“缺陷”总地表示在玻璃板表面或内部的颗粒和瑕疵。 

“玻璃板”表示单独的玻璃片或者从单独的玻璃片上分离出来的玻璃条，其取决于检查系统的特定应用，即该系统是用于检查玻璃条，还是用于检查从玻璃条中分离出来的单独的玻璃片。 

“光束”通常表示电磁辐射，其包括可见光和非可见光范围的辐射。 

“行扫描照相机”表示具有由像素组成的光敏区域的检测器，其光敏区域的长度L至少是该区域宽度W的10倍。行扫描照相机包括延时积分(TDI)照相机(也被称为时域积分照相机)，其L/W的比值大于10。 

背景技术

玻璃板常用作显示领域中的基板，如液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)显示器中，其需要表面基本上没有1微米及以上尺寸的缺陷。据此，需要付出额外的努力去寻找有效的方法来检查玻璃板的这种缺陷。 

缺陷尺寸很小，在检查中正常使用的波长处玻璃板是透明的，玻璃板很薄(如在显示应用中是0.2至1.2毫米量级)，这些情况给检查带来了挑战性问题。更进一步，由于平板显示器的需求增加，玻璃制造生产线的数量也增加。因此，检查装置的需求也增加，从而使得所述装置的成本和复杂性作为评价一个系统的适合性的重要考虑。 

如下述公开，本实用新型提供了一种检查系统，其符合可靠检查显示器玻璃的相关性能标准，其中采用了相对便宜的光学元件，可以容易地安装到一个紧密的器件中，其可在制造设置中轻松地配置。 

实用新型内容

依据本实用新型的第1方面，公开了一种用于检查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的装置，其中包括： 

(A)光源，其照射玻璃板的一部分； 

(B)行扫描照相机，其检测从玻璃板上或玻璃板内的缺陷散射的光，该行扫描照相机包括多个像素，其形成具有长度L和宽度W的光敏区域；以及 

(C)光学系统，其将从缺陷散射的光传输到行扫描照相机，该光学系统具有数值孔径NA并且包括： 

(i)主凹面反射镜，其具有第一部分和第二部分，该反射镜具有曲率半径R；和 

(ii)凸面次反射镜； 

其中： 

(a)从缺陷散射的光经过光路到达行扫描照相机，该光路包括来自凹面主反射镜的第一部分的反射、来自凸面次反射镜的反射以及来自凹面主反射镜的第二部分的反射； 

(b)主和次反射镜的曲率中心基本重合，并且次反射镜的半径基本上等于主反射镜的半径的一半；以及 

(c)L、W和R满足下列关系： 

L/R≤0.25；和 

对于NA≥0.10，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.046；和 

对于NA≥0.12，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.033；和 

对于NA≥0.15，W/R≤0.14*(sqrt(1-(L/R)²)-1)+0.020。 

依据本实用新型的第2方面，公开了一种用于检查具有第一表面和第二表面的透明玻璃板的装置，其中包括： 

(A)光源，其照射玻璃板的一部分； 

(B)行扫描照相机，其检测从玻璃板上或玻璃板内的缺陷散射的光，该行扫描照相机包括多个像素，其形成具有长度L和宽度W的光敏区域；以及 

(C)光学系统，其将从缺陷散射的光传输到行扫描照相机，该光学系统具有数值孔径NA并且包括： 

(i)主凹面反射镜，其具有第一部分和第二部分，该反射镜具有曲率半径R；和 

(ii)凸面次反射镜； 

其中： 

(a)从缺陷散射的光经过光路到达行扫描照相机，该光路包括来自凹面主反射镜的第一部分的反射、来自凸面次反射镜的反射以及来自凹面主反射镜的第二部分的反射； 

(b)主和次反射镜的曲率中心基本重合，次反射镜的半径基本上等于主反射镜的半径的一半；以及 

(c)所述光学系统在聚焦到玻璃板第一表面上时在该表面处具有半径D1的点扩散函数并且在第二表面处具有半径D2的点扩散函数，其中D1和D2满足下列关系： 

D2/D1≥35 

其中玻璃板的厚度在0.2至1.2毫米范围内。