[实用新型]非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置有效
| 申请号： | 201020272608.7 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN201739526U | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 朱华;李兆廷 | 申请（专利权）人： | 河北东旭投资集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/16 | 分类号： | F16K1/16;F16K31/122 |
| 代理公司： | 深圳市智科友专利商标事务所 44241 | 代理人： | 曲家彬 |
| 地址： | 050021 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 非晶硅 太阳能电池 电极 工艺 中用 切换 装置 | ||
【权利要求书】：
1.非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置，以上切换阀装置设置在相邻两个真空腔室分隔板(8)上，其特征在于：结构中包括定位在轴(5)上的阀板(6)总成、与轴(5)固定连接的设定在工艺腔室之外的传动机构、借助驱动机构阀板(6)具有绕轴(5)转动的旋转自由度，真空腔室分隔板(8)上配套设置有阀口(8-1)，阀口(8-1)与阀板(6)在关闭状态下呈密封接触配合。
2.根据权利要求1所述的非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置，其特征在于：所述的驱动机构中包括借助转动轴(1)定位的气缸缸体(2)、活塞杆(3)，活塞杆(3)借助二连杆结构固定在轴(5)上、形成对轴(5)传递旋转力矩的传动机构。
3.根据权利要求1所述的非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置，其特征在于：阀板(6)总成的结构中包括定位在轴(5)和阀板(6)之间的旋转臂(7)以及借助双边燕尾槽(6-1)固定在阀板(6)上的密封圈(6-2)。
4.根据权利要求3所述的非晶硅太阳能电池背电极镀制工艺腔室中用的切换阀装置，其特征在于：与阀板(6)总成配套设置的阀口(8-1)设置在工艺腔室的分隔板(8)上，阀口(8-1)和阀板(6)上的密封圈(6-2)形成密封接触配合。
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