[实用新型]RRS型空间三转动微动超精密定位平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及超精密定位技术，特别是一种RRS型空间三转动微动超精密定位平台。

背景技术

常规的三自由度并联机构一般都是运用刚性元件来实现，为了实现精密定位，通常采用伺服电机和精密丝杠传动方案，然而这种定位方式由于螺纹间隙和传动摩擦的存在，其定位精度一般只能达到微米级。为了补偿传动误差，提高分辨率，往往采用电磁或压电驱动对工作平台进行精细位置调整，但调整过程长、系统复杂，且由于空间耦合作用使得空间定位精度调整难以实现。

实用新型内容

本实用新型目的是克服上述不足，提供一种RRS型空间三转动微动超精密定位平台。

本实用新型技术方案：一种RRS型空间三转动微动超精密定位平台，将三个相同柔顺支链1分别紧固在固定基座3的三个面上，末端执行器2安装在三个柔顺支链的动平台7上，超精密定位平台13固定于末端执行器2上；

柔顺支链1中的定平台5与柔性连杆10一端连接，柔性连杆10另一端依次与转动关节12、11相连接，柔性连杆9一端通过转动关节11与柔性连杆10连接，动平台7通过球面关节8与柔性连杆9另一端相连接，压电陶瓷驱动4驱动转动关节12所连接柔顺连杆10，形成具有全柔顺结构支链；

通过螺钉孔6，三个相同柔顺支链1分别用螺钉紧固在固定基座3的三个面上。

有益效果：利用柔顺元件的弹性变形传递或转换运动、力或能量的一种新型免装配机构，避免了并联机构由于运动副轴线装配误差及运动副存在的间隙对末端平台运动特性所造成的影响，定位精准；克服常规方式由于螺纹孔行程和传动摩擦等因素对精密定位精度的影响，达到纳米级超精密定位。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中一个柔顺支链的结构示意图。

具体实施方式

三个结构相同的柔顺支链1通过螺钉分别固定在固定基座3上，同时末端执行器2固定在三个柔顺支链的动平台7上。安装在柔顺支链上的压电陶瓷驱动4驱动后，柔性连杆10和柔性连杆9由于转动关节11、12的弹性变形而产生运动，运动通过球面关节8传到动平台7，根据三个柔顺支链的运动来确定超精密定位平台的空间三转动运动，最终实现超精密定位。

本实用新型中末端执行器2、固定基座3、超精密定位平台13、压电陶瓷驱动4等均为现有产品。

本实用新型中球面关节8，连接在柔性连杆9和动平台7之间，为超精密定位平台提供移动约束，实现其柔性微转动运动。