[实用新型]一种硅片推片器有效
申请号: | 201020273872.2 | 申请日: | 2010-07-28 |
公开(公告)号: | CN201838568U | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 朱道峰;高毅;黄萍;王国华;周祖武;赵剑京;张洪建 | 申请(专利权)人: | 北京市塑料研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人: | 朱黎光 |
地址: | 100009 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 推片器 | ||
技术领域
本实用新型属于太阳能电池的硅片的倒片装置,尤其涉及一种硅片推片器。
背景技术
太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源,是清洁能源的一种,太阳能发电时不产生任何有害物质。晶体硅太阳能电池是太阳能发电领域的产品之一,其太阳能硅电池片的制作工艺如下:硅棒拉制、硅片切割P-N结扩散、等离子刻蚀、减反射膜制备、电极烧结。
在硅电池片加工过程中,某些加工序需要把硅片从石英舟导入硅片承载花篮。传统倒片是工作人员手动操作完成,即工作人员手动将放置在石英舟的硅片一片一片的拿到硅片承载花篮。
但是,因为硅片材质薄、脆,极易损坏,所以工作人员的倒片动作必须轻缓,很大程度上增加了倒片时间;并且,手动倒片还很容易划伤和污染硅电池片。
实用新型内容
本实用新型提供一种硅片推片器,即能提高硅片的倒片效率,又能够防止硅片在倒片过程中划伤和污染。
为实现上述技术目的,本实用新型提供一种硅片推片器,包括:支撑一个石英舟和一个硅片装载花篮的底座、等间距设置有多个推齿的推齿片、推板、拉杆、导向滑轨和连接部件,其中,所述推齿片分别安装在推板相对的侧面,导向滑轨固定在底座底部,拉杆设置在导向滑轨上,所述连接部件的一端连接推板,另一端连接拉杆。
优选的,所述底座底部设置有两条平行的导向滑轨,拉杆安装在两条平行的导向滑轨上。
优选的,还包括:设置在底座底部的定位块,定位块设置有定位孔,所述连接部件穿过定位孔连接拉杆。
优选的,所述推齿片的推齿末端设置有连接部,所述连接部上设置有条形槽。
优选的,所述底座设置有导向槽,所述连接部件一端穿过导向槽与推板连接。
优选的,所述底座上设置有固定硅片承载花篮和石英舟的定位柱和挡板。
本实用新型提供的硅片推片器,将硅片承载花篮和装有硅片的石英舟同时固定安装在推片器的底座上,推片器的推齿分别对准放置在石英舟中的硅片,移动拉杆,拉杆通过连接部件推动推板移动,推板带动推齿片推动石英舟的硅片倒入硅片承载花篮。在硅片倒片时,避免手指接触硅片表面,防止硅片污染和破损,并且硅片能够同时被推入硅片承载花篮,提高倒片效率。
本实用新型的其它优点在后续的文字中有详尽的叙述。
附图说明
图1是本实用新型硅片推片器的结构示意图;
图2是本实用新型硅片推片器的连接部件结构示意图;
图3是本实用新型硅片推片器的推齿片结构示意图;
图4是图1所示硅片推片器的实施例的底部结构示意图;
图5是图1所示硅片推片器的实施例的工作状态图;
具体实施方式
本实用新型硅片推片器如图1所示,推片器包括:底座11、拉杆18、连接部件12、推板13、推齿片14、导向滑轨16和导向滑轨17,所述底座11底部设置有四个支撑柱15,导向滑轨16和导向滑轨17平行固定在支撑柱15上,拉杆18连接导向滑轨16和导向滑轨17;连接部件12的一端连接拉杆18,另一端连接推板13,将推板13支离底座表面;推齿片14由多个等间隔设置的推齿142构成,推齿142末端设置有连接部141,螺钉穿过连接部141,将推齿片14固定在推板13的侧面。
本实用新型的连接部件实施例结构图如图2所示,连接部件12具有一个条形的第一连接件21和一个L形的第二连接件22,所述第二连接件22一条边设置有安装孔,第一连接件21的一端插入安装孔内,螺丝穿过安装孔,卡紧第一连接件21。
如图2、图3、图4和图5所示,底座11底部设置有两条平行的导向滑轨16,导向滑轨16两端连接支撑柱15,拉杆18安装在两条导向滑轨16上;底座11一侧设置有导向槽31,连接部件12的第二连接件22穿过导向槽31连接推板,连接部件12的第一连接件21的一端连接设置拉杆18,另一端连接第二连接件22。倒片时,石英舟41底部一纵向侧边顶住挡板44,另一条纵向侧边定顶住固定在定位柱43上的硅片承载花篮42;推动拉杆18在导向滑轨上滑动,连接部件12的第二连接件22的纵向边在导向槽31内移动,推板13带动推齿片14靠近石英舟41,推齿片14的推齿142将石英舟41装载的硅片推入硅片承载花篮42。
在本实用新型另外的实施例中,如图4所示,定位块32固定在底座11的底部,连接部件的第一连接件21穿过定位块32连接拉杆18,增加了第一连接件21的承重面,防止由于推板和推齿片过重,压弯第一连接件21。
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造