[实用新型]超净高纯级磷酸提取装置

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及一种超净高纯级磷酸提取装置，属于电子化学品生产设备技术领域。

(二)背景技术

磷酸(H3PO4)一种重要的无机酸，是化肥工业生产中重要的中间产品，用于生产高浓度磷肥和复合肥料。磷酸还是肥皂、洗涤剂、金属表面处理剂、食品添加剂、饲料添加剂和水处理剂等所用的各种磷酸盐、磷酸酯的原料。作为磷肥生产的原料，是正磷酸或多磷酸的水溶液，商品正磷酸的浓度一般为52％～54％。

在电子化学品领域，作为酸性腐蚀剂使用。用于电子化学领域的化学产品，要求达到MOS(金属-氧化物-半导体)标准，即金属杂质含量小于100ppb，控制1微米粒径粒子达到SEMI C1 C2标准，适合中小规模集成电路及TFT-LCD等微电子领域的加工工艺。而工业级磷酸中含有较多的金属杂质和硫，不能满足微电子领域使用要求。

(三)发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能降低磷酸中的金属杂质和硫含量、且可满足微电子领域使用要求的超净高纯级磷酸提取装置。

本实用新型的目的是这样实现的：一种超净高纯级磷酸提取装置，其特征在于：它包括原料槽、萃取器、溶剂槽、脱硫槽、过滤器、洗涤器、反萃取器、成品槽和碳酸钡溶液槽；

所述原料槽和溶剂槽出口分别与萃取器进口相连，所述萃取器出口与脱硫槽进口相连，所述脱硫槽进口上还连接有碳酸钡溶液槽，所述脱硫槽出口与过滤器进口相连，所述过滤器出口与洗涤器进口相连，所述洗涤器出口与反萃取器进口相连，所述反萃取器出口与成品槽相连。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型超净高纯级磷酸提取装置，能降低磷酸中的金属杂质和硫含量、且可满足微电子领域使用要求。生成的超净高纯级磷酸可达到MOS(金属-氧化物-半导体)标准。

(四)附图说明

图1为本实用新型超净高纯级磷酸提取装置的结构示意图。

其中：

原料槽1、萃取器2、溶剂槽3、脱硫槽4、过滤器5、洗涤器6、反萃取器7、成品槽8、碳酸钡溶液槽9。

(五)具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种超净高纯级磷酸提取装置，主要由原料槽1、萃取器2、溶剂槽3、脱硫槽4、过滤器5、洗涤器6、反萃取器7、成品槽8和碳酸钡溶液槽9组成；

所述原料槽1和溶剂槽3出口分别与萃取器2进口相连，所述萃取器2出口与脱硫槽4进口相连，所述脱硫槽4进口上还连接有碳酸钡溶液槽9，所述脱硫槽4出口与过滤器5进口相连，所述过滤器5出口与洗涤器6进口相连，所述洗涤器6出口与反萃取器7进口相连，所述反萃取器7出口与成品槽8相连。

采用本实用新型装置生产的超净高纯级磷酸，其纯度可达85.0％以上。