[实用新型]真空装置的阀门结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种阀门构造，特别涉及一种用于真空溅镀工艺的真空装置的阀门结构。

背景技术

现有的溅镀设备包含多个反应腔室，这些反应腔室具有彼此连通的设置关系。欲进行真空溅镀工艺的产品是由真空溅镀设备的入口端进入反应腔室，以进行第一步骤的溅镀加工。之后，再进入下一个反应腔室进行第二道工序的真空溅镀加工工艺，之后再继续前往接下来的反应腔室执行相同的动作，直到完成所有真空溅镀步骤而由真空溅镀设备的出口端出来。

然而，欲溅镀的产品进入反应腔室内时，会历经反应腔室内的压力变化，其变化为，反应腔室内的压力由低真空、中真空至高真空，接着在高真空的状态下对产品进行真空溅镀。产品在溅镀完成后，反应腔室内的压力变化会由高真空、中真空至低真空，然后将产品由反应腔室取出。因此，每一反应腔室之间都会设置一个阀门装置，其目的为确保每一反应腔室皆可处于一高度气密的状态，以利反应腔室内进行抽真空的动作。

现有的阀门装置由一气压缸、一转轴、一支臂及一阀门板所构成。气压缸提供转轴旋转的动力，转轴枢设于反应腔室的出入口的一侧，转轴并固接支臂，支臂再固设阀门板。阀门板可借由转轴的旋转而封闭反应腔室的出入口，以达到反应腔室内部呈现高度气密的效果。然而，阀门板、支臂与转轴间都是固定的，在阀门板关上出入口的同时，会受到反应腔室的反作用力抵抗。长久使用下来，此反作用力难免会对各组件间造成磨耗，因此各组件间便会有间隙产生。当间隙产生时，阀门板便无法确实密合反应腔室的出入口，致使反应腔室内部的真空度大幅劣化，无法达到真空溅镀工艺所要求的工作真空度。

另外，阀门板在制造或是在组装时，其阀门板的平面度及与形成出入口的壁体的平行度皆存在有一定的公差(tolerance)，如此将造成阀门板对真空溅镀装置的出入口的密合性不佳的情形。鉴于上述先天与后天所造成的密合不佳的情况，皆会使反应腔室的抽真空动作无法确实完成，以及反应腔室内部的真空度无法满足真空溅镀作业需求的问题。

实用新型内容

鉴于以上的问题，本实用新型提供一种真空装置的阀门结构，借以解决现有技术所存在阀门与反应腔室的出入口间因密合性不佳，进而造成反应腔室的抽真空动作无法确实完成，以及反应腔室内部的真空度不佳等问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种真空装置的阀门结构，该真空装置具有至少一腔室，该阀门结构包含：

一腔室连接体，具有至少一通孔，连结于该腔室；

一闭合构件，包含一第一轴杆及一阀门，该第一轴杆枢设于该腔室连接体内，该阀门连结于该第一轴杆，该第一轴杆相对于该腔室连接体枢转并连动该阀门封闭该通孔；以及

一扣锁构件，包含一第二轴杆及至少一抵顶件，该第二轴杆枢设于该腔室连接体内，该抵顶件连结于该第二轴杆，该第二轴杆相对于该腔室连接体枢转并连动该抵顶件推抵该阀门压合并密封住该通孔。

上述的真空装置的阀门结构，其中，该闭合构件还包含至少一第一连接杆，该第一连接杆分别连接该第一轴杆及该阀门，当该第一轴杆相对于该腔室连接体枢转，该阀门借由该第一连接杆而随该第一轴杆连动，并且该阀门封闭该通孔。

上述的真空装置的阀门结构，其中，还具有至少一联结件及至少一锁固件，该联结件固设于该阀门，该锁固件穿设该第一连接杆与该联结件，令该第一连接杆与该阀门相连接。

上述的真空装置的阀门结构，其中，该扣锁构件还包含至少一第二连接杆，该第二连接杆分别连接该第二轴杆及该抵顶件，当该第二轴杆相对于该腔室连接体枢转，该抵顶件借由该第二连接杆而随该第二轴杆连动，并且该抵顶件推抵该阀门。

上述的真空装置的阀门结构，其中，该抵顶件具有一弹性组件，该弹性组件一端连接该抵顶件，另一端用于推抵该阀门，该抵顶件通过该弹性组件而推抵该阀门。

上述的真空装置的阀门结构，其中，还包含一止漏件，固设于该阀门上并面对该通孔，该止漏件的形状为对应该通孔的形状，当该阀门压合该通孔，该止漏件环绕于该通孔的外缘。

上述的真空装置的阀门结构，其中，还包含至少二轴承，设置于该腔室连接体内，该第一轴杆及该第二轴杆分别连接于该二轴承，并且枢设于该腔室连接体内。

上述的真空装置的阀门结构，其中，还包含二气压缸，该二气压缸分别连结该第一轴杆与该第二轴杆，该二气压缸用以驱动该第一轴杆与该第二轴杆相对于该腔室连接体枢转。

上述的真空装置的阀门结构，其中，该阀门还具有至少一垫片，设置于该阀门面向该扣锁构件的一侧面上，该抵顶件为抵顶于该垫片并压合该阀门。