[实用新型]晶圆劈裂刀具装置

权利要求书

1.一种晶圆劈裂刀具装置，其特征在于，包含：

一基座；

一限位单元，其一侧与所述基座结合，包含一连接侧部、一套合侧部与一盖体，所述连接侧部外侧与所述基座的一侧面结合，所述套合侧部与所述连接侧部对合，且两者间形成一贯穿的容置空间，所述盖体设于所述连接侧部与套合侧部上方，并分别与所述连接侧部与套合侧部结合，所述盖体包含由上而下贯穿设置的多个容置孔与一限位口，所述容置孔下侧是内缩的，使所述盖体在各容置孔中间段形成一挡缘，所述限位口由所述盖体底部内侧与套合侧部及连接侧部所围成，且与所述容置空间连通，所述限位口上方及下方形成两限位缘；以及

多个裂片单元，所述多个裂片单元排列成一直线，且穿设于所述限位单元，包含多个劈刀、多个对应于劈刀设置的弹性组件与多个对应于劈刀设置的击锤，所述多个劈刀穿设于所述容置空间，而与所述连接侧部及套合侧部结合，各劈刀顶部向两相反侧延伸形成延伸片，设于前述的限位口内，各弹性组件穿设于所述容置孔下侧，而与各劈刀的延伸片顶部结合，各击锤穿设于所述容置孔上侧，而与各弹性组件顶部结合。

2.如权利要求1所述的晶圆劈裂刀具装置，其特征在于：所述的限位单元进一步包含多个栓件与多个对应套设于栓件的弹簧，所述连接侧部进一步包含多个栓孔，各栓孔由所述连接侧部内侧面凹设而成，各栓件栓设于各栓孔，各劈刀进一步包含一个以上水平贯穿设置的容口与容孔，各容孔开口小于其对应的容口，且分别与各栓孔连通，各栓件穿设于各容口与各容孔，各劈刀在各容口周围形成一抵缘，所述套合侧部进一步包含一个以上的套口，各套口由所述套合侧部内侧面凹设而成，对应于所述多个栓孔，并与前述的容口连通，各栓件顶部设于各套口中，各弹簧两端与各栓件顶部以及各抵缘抵靠。

3.如权利要求2所述的晶圆劈裂刀具装置，其特征在于：所述的盖体进一步包含多个贯穿的锁合口与锁固口，供多个锁件穿设，所述多个锁件顶部与所述盖体迫紧抵靠，所述套合侧部与连接侧部的顶部，包含有多个分别与锁合口及锁固孔连通的锁合孔及锁固孔，各锁件与各锁合孔及各锁固孔锁固结合。

4.如权利要求1所述的晶圆劈裂刀具装置，其特征在于：所述的盖体进一步包含多个贯穿的锁合口与锁固口，供多个锁件穿设，且所述多个锁件顶部与盖体迫紧抵靠，所述套合侧部与连接侧部的顶部，包含有多个分别与锁合口及锁固孔连通的锁合孔及锁固孔，各锁件与各锁合孔及各锁固孔锁固结合。