[实用新型]具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计

权利要求书

1.一种具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计，其特征在于：包括样品台、两个照明系统、两个光收集系统、单色仪和光电系统；所述两个照明系统和两个光收集系统分别对称地置于所述样品台的两侧；所述每个照明系统包括光源、第一可移动挡板、反射棱镜、第一凹面镜和分束镜；每个光收集系统包括第一反射镜、第二凹面镜、第二可移动挡板和第二反射镜；

在其中一个所述照明系统中，所述光源发射的光线在所述第一可移动档板开启时先由所述反射棱镜的其中一个反射面反射到第一凹面镜，再由所述第一凹面镜反射到所述反射棱镜的另一个反射面，然后反射棱镜的该另一个反射面将光线反射到所述分束镜，经该分束镜分出的透射光入射到置于所述样品台的样品上，分别形成透射光和反射光；所述样品的反射光返回该照明系统的分束镜上，光线由该分束镜反射后进入其中一个所述光收集系统中，所述样品的透射光进入另一个所述照明系统中；

在其中一个所述光收集系统中，第一反射镜接收所述分束镜反射的光线，并由该第一反射镜将光线反射到第二凹面镜上，该第二凹面镜在所述第二可移动档板开启时将光线反射到第二反射镜上，该第二反射镜将光线反射到所述的单色仪中，光线由单色仪出射后进入光电系统；

在另一个所述照明系统中，分束镜接收所述样品的透射光并将光线反射到另一个光收集系统中；

在另一个光收集系统中，第一反射镜接收分束镜反射的光线并由该第一反射镜将光线反射到第二凹面镜上，该第二凹面镜在所述第二可移动档板开启时将光线反射到第二反射镜上，该第二反射镜将光线反射到所述的单色仪中，光线由单色仪出射后进入光电系统。

2.根据权利要求1所述的一种具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计，其特征在于：每个所述照明系统还包括一个光吸收体；在每个所述照明系统中，经由分束镜分出的反射光进入相应的所述光吸收体。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计，其特征在于：所述光电系统包括积分球入瞳、积分球、PBS硫化铅探测器、PMT光电倍增管、探测器控制模块和计算机，所述积分球入瞳、PBS硫化铅探测器和PMT光电倍增管分别固定于所述积分球上，所述探测器控制模块分别与PBS硫化铅探测器、PMT光电倍增管和计算机电连接。

4.根据权利要求3所述的一种具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计，其特征在于：所述探测器控制模块包括PMT高压模块、PMT前置信号处理模块、信号选择模块、程控放大模块、AD采集模块、微处理器模块、调制模块、PBS前置信号处理模块和恒温控制模块；所述高压模块、PMT前置信号处理模块、信号选择模块、程控放大模块、AD采集模块、微处理器模块依次电连接；所述微处理器模块分别与调制模块、恒温控制模块电连接；所述PBS前置信号处理模块与信号选择模块电连接。