[实用新型]硅锭处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅或单晶硅产品的生产辅助设备，具体是一种用来对多晶硅或单晶硅硅锭进行处理，以便于切割废料进行回收利用的硅锭处理装置。

背景技术

多晶硅或单晶硅铸锭后，通常要通过开方工序将柱状的硅锭表面材料切割去除后才进入下一步的加工利用。切割废料可以作为原料回收利用，但由于硅锭表面有一层杂质(氮化硅和碳化硅)，需将杂质处理才能回收利用；由于切割废料形状较小且不规则，因而处理较困难。传统的处理方法是：开方后，通过人工打磨将其表面的杂质处理，最后清洗，再回收利用。其处理效率低、劳动强度大。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种能够提高铸锭切割废料的处理效率、降低生产劳动强度的硅锭处理装置。

本实用新型的硅锭处理装置包括有一个工作箱体，在工作箱体中安置有一个可绕竖直轴心旋转的工作台，在工作台一侧设置有一组与喷砂系统连接的喷砂嘴。工作箱体还通过除尘管路与除尘系统连接。所述工作箱体前部设置可开启或关闭的入口，在入口前方设置进料台。

本实用新型的处理装置结构简单、喷砂处理效果好，它可在硅锭开方前通过喷砂对硅锭表面进行处理，由于柱状的硅锭形状规则且体积大，因而其处理难度低、效率高、劳动强度低。

附图说明

图1是本实用新型的硅锭处理装置结构示意图。

具体实施方式

如图所示，该硅锭处理装置包括有一个工作箱体1，在工作箱体中安置有一个可绕竖直轴心旋转的工作台2，在工作台一侧设置有一组与喷砂系统连接的喷砂嘴3。工作箱体还通过除尘管路与除尘系统4连接。工作箱体前部设置可开启或关闭的入口，在入口前方设置进料台5。

使用本实用新型装置的的硅锭切割废料回收方法经过以下步骤：

a.在多晶硅或单晶硅铸锭未开方前，将柱状的硅锭安置在图1所示硅锭处理装置中的工作台2上，关闭工作箱体，使硅锭旋转，同时通过一侧的喷砂嘴对硅锭表面进行喷砂处理；

b.硅锭喷砂处理完成后进行开方，切割去除表面材料，切割废料经清洗后回收利用。