[实用新型]双激光头划片装置

权利要求书

1.双激光头划片装置，包括光路系统、调整滑轨机构、工作台机构和控制系统，其特征在于：所述光路系统包括激光发射装置以及与所述激光发射装置连接的两个激光头，两个激光头分别固定在调整滑轨机构上，调整滑轨机构与工作台机构连接，工作台机构设置于两个激光头的下方；所述光路系统、工作台机构和调整滑轨机构均分别与控制系统连接。

2.根据权利要求1所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述激光发射装置包括依次光路连接的激光器、扩束镜、反光镜和声光调制器，所述声光调制器与两个激光头分别通过光路连接。

3.根据权利要求2所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述激光头包括依次光路连接的反射镜、振镜和f-θ扫描透镜，所述反射镜与声光调制器通过光路连接，f-θ扫描透镜与调整滑轨机构连接。

4.根据权利要求1、2或3所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述调整滑轨机构包括与工作台机构平行设置的水平调整滑轨以及与工作台机构垂直设置的两个上下调整滑轨，在水平调整滑轨上滑动地连接有两个滑块；两个上下调整滑轨分别与两个滑块滑动连接，且分别与两个激光头连接；水平调整滑轨通过支架固定于工作台机构上方。

5.根据权利要求4所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述工作台机构包括由上而下依次设置的旋转平台、进给平台和基座，所述旋转平台对应地设置在两个激光头的下方；水平调整滑轨通过支架固定于基座上方。

6.根据权利要求4所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述控制系统包括激光头控制机构、工作台控制系统、CCD定位系统和振镜控制系统，所述激光头控制机构和CCD定位系统都与调整滑轨机构连接，工作台控制系统与工作台机构连接，振镜控制系统与激光头连接。

7.根据权利要求6所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述激光头控制机构为三个伺服电机，三个伺服电机分别与镶嵌于水平调整滑轨内的丝杆以及镶嵌于两个上下调整滑轨内的丝杆连接；两个滑块与水平调整滑轨内的丝杆连接，且分别与两个上下调整滑轨内的丝杆连接。

8.根据权利要求6所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述工作台控制系统包括依次连接的运动控制卡、伺服驱动器和工作台伺服电机，所述工作台伺服电机与工作台机构连接。

9.根据权利要求6所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述CCD定位系统包括图像处理模块和两个CCD摄像头；所述图像处理模块分别与两个CCD摄像头连接，两个CCD摄像头分别设置于两个上下调整滑轨的下端。

10.根据权利要求6所述的双激光头划片装置，其特征在于：所述振镜控制系统包括依次连接的运动控制器、数模转换器和电机，电机分别与两个激光头连接。