[实用新型]一种气体混配供气装置

权利要求书

1.一种气体混配供气装置，包括有用于混配不同气体的混合器（11），以及与混合器（11）连接的气体传输管路，所述气体传输管路包括有气体输入管路和气体输出管路，所述气体输入管路包括第一气体管路和第二气体管路，其特征在于：第一气体管路包括有通过气体管道依次连接的前电动阀（3）和后电动阀（5）；第一气体管路和第二气体管路之间装设有压力反馈组件，压力反馈组件与前电动阀（3）连接；第一气体管路与气体输出管路之间装设有浓度反馈组件，浓度反馈组件与后电动阀（5）连接。

2.根据权利要求1所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述第一气体管路还包括第一调压器（2），以及输入端与气源连接的第一手动阀（1），第一手动阀（1）与第一调压器（2）通过气体管道依次连接，第一调压器（2）的输出端与所述前电动阀（3）连接。

3.根据权利要求2所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述第二气体管路包括第二调压器（13），以及输入端与气源连接的第二手动阀（14），第二手动阀（14）与第二调压器（13）通过气体管道依次连接，第二调压器（13）的输出端与混合器（11）连接。

4.根据权利要求3所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述气体输出管路包括有通过气体管道依次连接的稳压灌（10）、第三调压器（8），稳压灌（10）的输入端与混合器（11）连接。

5.根据权利要求4所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述气体输出管路还包括有输出端与气体输出口连接的电磁阀（9），电磁阀（9）的输入端与所述第三调压器（8）的输出端连接。

6.根据权利要求5所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述压力反馈组件包括有压差器（12）和压力控制器（4），压差器（12）连接于所述后电动阀（5）的前级管路和所述第二调压器（13）的后级管路之间，压力控制器（4）连接于所述前电动阀（3）和压差器（12）之间。

7.根据权利要求6所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述浓度反馈组件包括有浓度测量仪（7）和浓度控制器（6），浓度测量仪（7）装设于所述稳压灌（10）的后级管路，浓度控制器（6）连接于所述后电动阀（5）和浓度测量仪（7）之间。

8.根据权利要求7所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述第二调压器（13）的上膜室与所述稳压灌（10）的前级管路连接。

9.根据权利要求3至8任意一项所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述第二调压器（13）为自力式压力调节阀。

10.根据权利要求2至8任意一项所述的一种气体混配供气装置，其特征在于：所述第一调压器（2）为减压阀。