[实用新型]一种薄膜制造装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种薄膜制造装置，适用于材料领域。

背景技术

容器内为低压气体时，当两极间电压较高时，稀薄气体中的残余正离子在电场中加速，有足够的动能轰击阴极，产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使气体导电。辉光放电时，在放电管两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区。因正离子的漂移速度远小于电子，故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。利用辉光放电的原理进行制造薄膜可以收到很好的效果。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种薄膜制造装置，解决利用辉光放电的原理制造薄膜的问题。

本实用新型包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、电极、直流电源、容器壁。本实用新型中进气管管径为150～300mm，出气管管径80～150mm，真空测量计带报警器，基片位于铜电极下方10～15cm，基片放置在基台上，基片边缘与容器壁间隙为3～5cm，铜电极与直流电源联接。

本实用新型工艺简单，实用性强。

附图说明

图1薄膜制造装置示意图

附图标志：1、进气管，2、出气管，3、真空测量器，4、基片，5、基台，6、电极，7、直流电源，8、容器壁

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型进行详细描述。

图1为薄膜制造装置示意图。

本实施例包括进气管1、出气管2、真空测量器3、基片4、基台5、电极6、直流电源7、容器壁8。本实施例中进气管1管径为250cm，出气管2管径100cm，真空测量计3带报警器，当真空达到150MPa时，报警器开始报警要减小电流电压，基片4位于铜电极6下方12cm，基片4放置在基台5上，基片4边缘与容器壁8间隙为4cm，铜电极6与直流电源7联接。在真空情况下铜电极6通直流电后会在两铜电极6之间产生辉光发电，进气管1的材料通过辉光发电区域后在基片4上形成薄膜。