[实用新型]单晶炉的提升机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉装置，尤其是单晶炉的提升机构。

背景技术

目前，直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列，用它来制作人工晶体，单晶生长速度最高，最容易实现人工控制，因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶，人类几乎动用了一切先进的手段。可以说，在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁、光、仪等多方面的高端知识和技术，是一个国家机电一体化设备制造水平的反映。硅单晶体作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其它电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造，一般采用如下制造方法：多晶硅被装进石英坩埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把一交特定晶向的硅单晶体(称作籽晶)装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接，籽晶固定于夹持器的下端，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶体长大，在晶体长到需要的大小时候，就需要取出，取出晶体需要将单晶炉进行拆开后才行，所以需要一种机构用于拆分单晶炉。

发明内容

本实用新型提供一种单晶炉的提升机构，它用在单晶炉娶晶硅时拆分单晶炉，它具有稳定、安全、迅速的优点。

实现本实用新型目的的技术方案如下：

单晶炉的提升机构，它包括底座以及设于底座上的支架、单晶炉与提升装置，单晶炉包括炉体、翻板箱与副炉，提升装置包括第一提升油缸与第二提升油缸，第一提升油缸与第二提升油缸固定在底座上，第一提升油缸与炉体连接用于提升炉体，第二提升油缸与翻板箱与副炉连接，第二提升油缸的缸杆设于支架上并与支架滑动配合，支架上设有一级限位机构和二级限位机构，缸杆上设有与一级限位机构、二级限位机构相配合的第一限位板与第二限位板。

所述的第二提升油缸的缸杆上设有三个连接套，其中一个连接套与翻板箱连接，另外两个连接套与副炉连接，连接套与缸杆周向活动连接。

所述的连接套通过连接板与翻板箱、副炉相连。

采用了上述方案，第二提升油缸用于提升翻板箱与副炉，第二提升油缸启动时先开始提升副炉，当第二提升油缸的缸杆上第一限位板触碰一级限位机构，此时油缸停止工作，此时将翻板箱内充氧气，然后继续启动第二提升油缸继续提升，当第二限位板与二级限位机构触碰时，第二提升油缸停止提升工作，因为缸杆通过连接套、连接板与副炉连接，连接套与缸杆周向活动连接，此时就可以将副炉与翻板箱以缸杆为轴移动开，这样就能将单晶炉中的晶硅取出，需要加料换料时，只需要启动第一提升油缸将炉体提升就可以进行加料。

本实用新型的有益好处是结构简单实用，稳定性好，操作方便，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中，1、底座，2、第一提升油缸，3、炉体，4、翻板箱，5、副炉，6、支架，7、连接套，8、缸杆，9、二级限位机构，10、第二限位板，11、一级限位机构，12、第一限位板，13、第二提升油缸，14、连接板。

具体实施方式

如图1所示，单晶炉的提升机构，它包括底座1以及设于底座1上的支架6、单晶炉与提升装置，单晶炉包括炉体3、翻板箱4与副炉5，提升装置包括第一提升油缸2与第二提升油缸13，第一提升油缸2与第二提升油缸13固定在底座1上，第一提升油缸2与炉体3连接用于提升炉体3，第二提升油缸13与翻板箱4与副炉5连接，第二提升油缸13的缸杆8设于支架6上并与支架6滑动配合，第二提升油缸13的缸杆8上设有三个连接套7，其中一个连接套7与翻板箱4连接，另外两个连接套7与副炉5连接，连接套7与缸杆8周向活动连接，连接套7通过连接板14与翻板箱4、副炉5相连支架6上设有一级限位机构11和二级限位机构9，缸杆8上设有与一级限位机构11、二级限位机构9相配合的第一限位板12与第二限位板10。

工作时，第一提升油缸2用于提升炉体3，第二提升油缸13工作时，提升副炉5，当第一限位板触12碰一级限位机构11，此时油缸停止工作，此时将翻板箱4内充氧气，然后继续启动第二提升油缸13继续提升，当第二限位板10与二级限位机构9触碰时，第二提升油缸13又停止提升工作，此时就可以取出晶硅。