[实用新型]磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘

说明书

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射设备中用于使多段箱体联接的法拉盘。

背景技术

大型真空磁控溅射设备具有的工作箱为多段箱体相互联接构成，每两只相邻箱体之间的联接方式是：在两箱体的一端各连接一法兰盘，两法兰盘相互联接。为确保工作箱在工作状态时的真空度，必须保证两相联法兰盘的联接处有较好的密封，否则将影响工作箱内的真空度，从而影响所镀产品的薄膜质量。现有的一种箱体联接法兰盘的结构为：盘体的中部开有通孔，盘体的外端面上设有依次围在通孔外侧的第一内环圈、第二内环圈，两内环圈之间形成有充填密封圈的环形槽。这种法兰盘在相互联接时，彼此的第一内环圈、第二内环圈相对贴靠，且在环形槽内充填有密封圈。这种联接法兰盘存在的欠缺是：在各箱体的联接安装过程中，每对相联法兰盘之间联接处的密封性不能及时检测，每对法兰盘连接面的密封情况，需要在整个设备的主辅部件安装完毕后，在设备试车时才能检漏。一旦工作箱体的连接部位有漏气现象，就需要把设备一一拆除，重新检查、安装，由此造成很多劳动的浪费，另外，重新检查、安装，增加了设备的磕碰机会和材料的浪费，对设备会有一定程度的损伤，且过程麻烦，并会影响安装工期。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘，每两只相邻的箱体由该法兰盘完成相互联接后，可及时的检查联接处的密封性。

为实现上述目的，本实用新型采用以下方案：磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘，盘体的中部开有通孔，盘体的外端面上设有依次围在通孔外侧的第一内环圈、第二内环圈，两内环圈之间形成有充填密封圈的第一环形槽，在两内环圈的外侧还依次围绕有第一外环圈、第二外环圈，两道外环圈之间形成有充填密封圈的第二环形槽，盘体上处在相邻的第二内环圈与第一外环圈之间的区域处开有一通孔。

由上述方案可见，每两只相邻的箱体的一端连接本实用新型提供的法兰盘后，再将两箱体一端的法兰盘联接时，使彼此的第一内环圈、第二内环圈、第一外环圈、第二外环圈相对，且在第一环形槽内及第二环形槽充填密封圈后，通过连接件使两法兰盘紧固联接，完成相互联接后，即可使用检漏设备通过通孔检查第二内环圈与第一外环圈之间空间的密封性，通过检查，若发现该空间的密封性不佳，可立刻拆除，重新处理，然后再重新安装测试；通过检查，若该空间的密封性良好，则说明两法兰盘间的联接密封良好。

本实用新型结构合理、可靠，它可实现及时对联接处的密封性进行检查，避免设备安装完毕后发现密封问题再返工，同时也减少了设备的磕碰机会和材料的浪费，并对安装工期的保证有极大的促进作用。

附图说明

图1本实用新型一实施例的结构图；

图2图1的A-A剖视图；

图3图1的B-B剖视图；

图4本实用新型的使用状态示意图。

具体实施方式

以下结合实施例及附图进一步说明本实用新型。

参见图1、图2、图3

本实用新型提供的磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘的盘体1中部开有通孔1c，盘体1的外端面上设有依次围在通孔1c外侧的第一内环圈7、第二内环圈5，两内环圈之间形成有充填密封圈的第一环形槽6，在两内环圈的外侧还依次围绕有第一外环圈3、第二外环圈2，两道外环圈之间形成有充填密封圈的第二环形槽4，盘体1上处在相邻的第二内环圈5与第一外环圈3之间的区域处开有一通孔1b。另外，由图1可见，在盘体1的周边开有均布的安装孔1a。

参见图2

在盘体1的内端面上连接有一与通孔1b相通的接管8。

结合图2、图4

每两只相邻的箱体12的一端连接本实用新型提供的法兰盘后，再将两法兰盘的第一内环圈7、第二内环圈5、第一外环圈3、第二外环圈2相对，且在第一环形槽内及第二环形槽内分别充填密封圈10、填密封圈9后，通过连接件11穿过连接孔1a，即可使两法兰盘紧固联接。完成相互联接后，使用检漏设备通过接管8即可检查第二内环圈与第一外环圈之间空间的密封性。