[实用新型]硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构有效
| 申请号： | 201020534548.1 | 申请日： | 2010-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN201826035U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张江城;靳忠磊;邹志勇;刘添华 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新技术开*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅芯棒 用于 多晶 生长 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅芯棒，为长条状，其特征是：其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。
2.根据权利要求1所述的硅芯棒，其特征是：所述硅芯棒的横截面为弧状。
3.根据权利要求1或2所述的硅芯棒，其特征是：所述硅芯棒的厚度为0.5mm-5mm。
4.根据权利要求3所述的硅芯棒，其特征是：所述硅芯棒的厚度为1.55mm。
5.根据权利要求1或2所述的硅芯棒，其特征是：所述硅芯棒的宽度为20mm-100mm。
6.根据权利要求5所述的硅芯棒，其特征是：所述硅芯棒的宽度为50mm。
7.一种用于多晶硅生长的硅芯结构，包括两根竖硅芯棒(1)，横向搭接在两根竖硅芯棒(1)顶端的横硅芯棒(2)，其特征是：所述横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的横截面均为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状，所述两根竖硅芯棒(1)的顶端具有与所述横硅芯棒(2)外表面形状相适配的形状。
8.根据权利要求7所述的用于多晶硅生长的硅芯结构，其特征是：所述的横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的厚度为0.5mm-5mm。
9.根据权利要求8所述的用于多晶硅生长的硅芯结构，其特征是：所述横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的厚度为1.55mm。
10.根据权利要求7或8或9所述的用于多晶硅生长的硅芯结构，其特征是：所述硅芯棒的宽度为50mm。
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