[实用新型]硅切割液膜分离集成装置及其耦合装置无效
| 申请号： | 201020538697.5 | 申请日： | 2010-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN201791482U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 陆惠民;沈柏明;陈俊;沈昀昀;周宝强 | 申请（专利权）人： | 湖州科弘环境工程有限公司 |
| 主分类号： | B01D61/18 | 分类号： | B01D61/18;B01D61/58;B01D65/02 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 313000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割 分离 集成 装置 及其 耦合 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅切割液膜分离集成装置，其特征在于：包括微滤膜分离装置和与其相连接的超滤膜分离装置。
2.根据权利要求1所述的硅切割液膜分离集成装置，其特征在于所述微滤膜元件的结构型式是折叠式。
3.根据权利要求1或2所述的硅切割液膜分离集成装置，其特征在于所述微滤膜元件的孔径为0.1-0.3μm。
4.根据权利要求3所述的硅切割液膜分离集成装置，其特征在于所述微滤膜元件的过滤精度为0.22μm。
5.根据权利要求1所述的硅切割液膜分离集成装置，其特征在于所述超滤膜元件的结构型式是中空纤维。
6.根据权利要求5所述的硅切割液膜分离集成装置，其特征在于所述超滤膜元件的孔径为0.02μm。
7.根据权利要求6所述的硅切割液膜分离集成装置，其特征在于所述超滤膜元件的切割分子量为50000MW。
8.一种耦合装置，包括权利要求1-7任一权利要求所述的硅切割液膜分离集成装置以及化学清洗装置和超滤反洗装置。
9.根据权利要求8所述的耦合装置，所述的化学清洗装置包括与所述硅切割液膜分离集成装置的微滤膜分离装置和超滤膜分离装置依次相连的清洗泵和清洗箱。
10.根据权利要求9所述的耦合装置，所述的超滤反洗装置包括与所述硅切割液膜分离集成装置的超滤膜分离装置依次相连的反洗泵和回用水箱。
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