[实用新型]非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，包括一等离子腔体、加热系统、气路系统、真空系统、供电系统、夹具，其特征在于：所述等离子腔体为可密闭的圆筒形单腔室，与真空系统及气路系统相连，所述夹具置于所述等离子腔体内，所述加热系统为一设有加热器的油箱，设置于所述等离子腔体下方，所述供电系统由多个控制单元组成，所述夹具上设有多个供电端口，该多个控制单元分别与该多个供电端口一一对应相连接。

2.根据权利要求1所述的非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述夹具包括由两侧板、一前挡板和一后盖构成的金属外壳，所述金属外壳围合形成的腔体内设有一气路板、复数个电极，所述两侧板、前挡板、后盖、气路板相互两两绝缘连接，所述复数个电极由多个导电平板排列而成，与所述两侧板平行，且与所述两侧板共同构成电极，相邻两电极之间的空间为放置待沉积电池基板的位置，所述气路板上具有均匀分布的通孔，于所述前挡板上，设有多个可采用非干扰式供电的电极端口。

3.根据权利要求1或2所述的非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：在所述等离子腔体的侧面配合设置一腔门，所述腔门与所述等离子腔体之间设有互锁装置。

4.根据权利要求2所述的非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述夹具的电极两个一组与所述供电端口分别单独联接。

5.根据权利要求1或2或4任一项所述的非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述等离子腔体内靠底部位置在腔室的长度方向上设有导轨，所述夹具的底部设置有复数个车轮，并与所述导轨相配合。

6.根据权利要求3所述的非晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积设备，其特征在于：所述等离子腔体内靠底部位置在腔室的长度方向上设有导轨，所述夹具的底部设有复数个车轮，并与所述导轨相配合。