[实用新型]超低频振动计量器具校准系统及其激光干涉仪

权利要求书

1.一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，其特征在于，该激光干涉仪包括：

平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。

2.如权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪还具有参考光路，而且所述参考光路包括：

多个反射镜，所述多个反射镜固定在所述参考光路的镜架上，并且根据与所述镜架底座的距离而分为多个反射镜组，

其中每个反射镜组包括多个反射镜，每个反射镜组中的一个反射镜将光反射到其他反射镜组中。

3.如权利要求2所述的激光干涉仪，其特征在于，所述反射镜组为两个。

4.如权利要求1-3中的任一个所述的激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪采用参考光和测量光等光程设计。

5.如权利要求1-3中的任一个所述的激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪还包括沃拉斯顿棱镜以产生两路正交的干涉光，而且所述激光干涉仪还包括两个光电接收-放大器，用于分别对所述干涉光进行光电转换以产生电信号，其中所述两个光电接收-放大器中的每个均包括：

光电倍增管，用于对入射到所述光电倍增管的光信号进行光电转换。

6.如权利要求5所述的激光干涉仪，其特征在于，所述两个光电接收-放大器中的每个均还包括：

跟随电路，对所述光电倍增管产生的电信号进行扩流；

零偏置电路，对所述扩流后的电信号进行偏置调零；以及

放大电路，用于对所述扩流且经过偏置调零后的电信号进行放大。

7.一种超低频振动计量器具校准系统，其特征在于，该超低频振动计量器具校准系统包括如权利要求1-6中的任一个所述的激光干涉仪。

8.如权利要求7所述的超低频振动计量器具校准系统，其特征在于，该超低频振动计量器具校准系统还包括：

振动台，用于产生在某个频率下的低频和超低频振动，而且被测低频或超低频振动计量器具安装在所述振动台上以感测所产生的低频或超低频振动；

角锥棱镜，安装在所述振动台上，将由所述激光干涉仪所产生的测量光反射到所述平面反射镜上，并将来自所述平面反射镜的反射光反射回所述激光干涉仪；以及

数据采集和处理装置，接收由所述激光干涉仪产生的两路相互正交的电信号以及由所述被测低频或超低频振动计量器具产生的感测信号，根据所述电信号和所述感测信号生成所述被测低频或超低频振动计量器具在所述低频或超低频频率下的感测灵敏度。

9.如权利要求8所述的低频或超低频振动计量器具校准系统，其特征在于，所述数据采集和处理装置包括：

数据采集部件，采集由所述激光干涉仪产生的两路相互正交的电信号以及由所述被测低频或超低频振动计量器具产生的感测信号以产生要处理的数据；

数据分解部件，对所述要处理的数据进行分割以生成多个可以被子模块运算部件一次处理的子数据以及剩余数据；

所述子模块运算部件，接收所述多个子数据，并进行相应的矩阵运算处理以产生相应的子结果；

余数运算部件，接收所述剩余数据并进行相应的矩阵运算处理以产生余数子结果；

合并运算部件，接收所述子结果以及所述余数子结果，对所述子结果以及所述余数子结果进行合并处理以产生最后的处理结果；以及

结果输出部件，输出所述最后的处理结果。