[实用新型]PECVD腔体的内连接结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的生产设备，特别涉及一种PECVD腔体的内连接结构。

背景技术

PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)的不同腔体承担了不同的功能用途。从功能区分上主要分为进片室、工艺室(镀膜室)和出片室。其中工艺室的主要功能为镀膜，可根据要求设计成各种不同的功能区域。现有技术PECVD腔体间的连接方式为采用外连接方式连接，即在各腔体的端部安装法兰，两个腔体连接时，在法兰口外侧使用螺丝固定，在法兰之间使用密封圈密封。这种连接方式外形不美观，要占用较大空间，并且设备的成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的，就是为了解决现有技术存在的上述问题，提供一种PECVD腔体的内连接结构。

为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：一种PECVD腔体的内连接结构，包括相互连接的两个腔体，其特点是，还包括连接螺栓和密封圈；所述的两个腔体的连接端分别设有一个向内翻边的内连接环，连接螺栓从两个腔体的内侧将两个内连接环连接，密封圈设置在两个腔体的连接面之间。

本实用新型的PECVD腔体的内连接结构具有以下的优点和特点：

1、简化了设计，无需额外的法兰连接，使得腔体间的连接更为简单，美观。

2、节约了成本，在简化设计的同时也降低了设备的成本，与外连接相比，内连接在材料的消耗与加工的难度方面有所下降，减少了成本方面的支出。

附图说明

图1是本实用新型PECVD腔体的内连接结构的基本结构示意图。

具体实施方式

图1为本实用新型的一个最佳实施例，本实用新型不限于本实施例。

参见图1，本实用新型的PECVD腔体的内连接结构，包括相互连接的两个腔体1和2以及连接螺栓3和密封圈4。在两个腔体1和2的连接端分别设有一个向内翻边的内连接环11和21，连接螺栓3从两个腔体的内侧将两个内连接环连接，密封圈4设置在两个腔体的连接面之间。