[实用新型]一种NiCr阴极溅射挡板有效
| 申请号： | 201020547197.8 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201809434U | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 朱哲煜;武瑞军 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 nicr 阴极 溅射 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，其特征在于：所述的第一阴极挡板本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第二阴极挡板本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑动，所述的第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。
2.根据权利要求1所述的一种NiCr阴极溅射挡板，其特征在于：所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板之间的可调节的距离范围至少包括145mm-155mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司，未经吴江南玻华东工程玻璃有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020547197.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种混酸预处理装置
- 下一篇：一种链式活套小车装置
- 同类专利
- 专利分类
